Udržování čistoty vašich waférů: Pravda o zahřívání
V čisté místnosti třídy 100 není jediný drobný zákal prachu jen nepříjemností – je to osudný faktor pro výnos vašich waférů. Většina ohřívacích prvků představuje zde problém. Pokaždé, když se zahřívají a ochlazují, uvolňují plyny nebo částice.
Proto postupujeme jinak. Používáme syntetické kvartové IR lampy vysoké čistoty, vyrobené speciálně pro průmysl polovodičů.
Boj proti „zamlžení“
Sklo obsahuje mnoho stopových kovů. Když se materiál zahřeje, tyto nečistoty se odpaří a dostanou se přímo na povrch substrátu. Pravděpodobně jste již viděli ten otravný „zamlžení“ během prvních několika cyklů.
Tomu zabráníme použitím kvartových trubic vysoké čistoty a důkladným procesem čištění. Nic nemá z naší dílny odejít s zbytky na povrchu. Prostě ne.
Teplota, která skutečně funguje
Tyto lampy využívají krátkovlnné IR záření, což znamená, že dosahují požadované teploty velmi rychle.
Držíme tolerance na nízké úrovni, aby teplota byla konstantní po celé délce trubice. Ale máme jeden tip: pokud používáte vysoce výkonné zařízení, určitě zkontrolujte chlazení šasi. Pokud nezvládnete odvod tepelné energie, kalibrace senzorů se budou měnit, a potom budete jen plýtvat časem.
Pracování s hardwarem
Vytvořili jsme tyto lampy tak, aby byly snadno vyměnitelné – protože nikdo nerad má pauzy v práci. Těsnění je pevné, takže se nemusíte obávat úniku halogenových plynů do prostředí. Jeden tip – ujistěte se, že vaši konektory dokážou zvládnout tepelné zatížení. Nechcete přece zjistit na vlastní kůži, že se vaše terminály roztékají.
Tohle nejsou nástroje typu „nastavte a zapomeňte“. Musíte sledovat stav kvartových trubic. Časem se na nich hromadí vedlejší produkty procesu. Když k tomu dojde, změní se emisivita. Všimnete si, že spotřeba energie stoupá, abyste udrželi stejnou teplotu povrchu.
Když to vidíte, je čas vyměnit lampu za novou.