Warum wir goldbeschichtete Reflektoren für die Vakuumheizung verwenden
Wenn Sie bereits mit der Verarbeitung von Wafern in einer Vakuumkammer gearbeitet haben, kennen Sie sicherlich das Problem der Energieverschwendung. Ein großer Teil der Energie aus der Heizquelle geht einfach in die Wände der Kammer verloren. Das ist eine Verschwendung von Strom – und vor allem auch eine Verschwendung Ihrer Zeit.
Deshalb verwenden wir Gold.
Die Vorteile von Goldbeschichtungen
Die meisten Menschen beginnen mit Aluminiumreflektoren – doch das hat einen Nachteil: Aluminium absorbiert einfach zu viel Infrarotenergie. Gold hingegen ist äußerst effektiv darin, Infrarotstrahlen zurückzuschicken, dorthin, wo sie hingehören.
Wenn wir eine Hochleistungs-IR-Lampe in eine mit Gold ausgekleidete Struktur platzieren, zwingt der Reflektor die Energie gezielt auf das Zielobjekt. Dadurch entsteht ein konzentrierteres, intensiveres Strahlungsbündel. Der beste Vorteil: Man erhält mehr Wärme auf dem Wafer – ohne dass man die Leistung der Heizquelle erhöhen oder das elektrische System belasten muss.
Das schwierige Problem: Heizen im Vakuum
Das Heizen in einem Vakuum ist eine Herausforderung – schließlich gibt es keine Luft, die die Wärme weiterleitet. Alles geschieht durch Strahlung. Das bedeutet, dass die Lampen sehr heiß werden können – und das schnell. Wir entwickeln unsere Systeme so, dass möglichst viele Watt in einem kleinen Raum untergebracht werden können. Doch man muss vorsichtig sein: Man darf die Kühlvorrichtungen nicht vernachlässigen. Wenn die Wasserkühlung zu schwach ist oder versagt, kann das dazu führen, dass die Beschichtung beschädigt wird oder die Quarzkapsel zerstört wird. Es handelt sich dabei um ein hochriskantes Gleichgewicht.
Damit es funktioniert
Wir haben diese Heizgeräte so konstruiert, dass sie einfach in Ihre vorhandene Vakuumanlage eingebaut werden können – ohne komplizierte Anpassungen. Da die Energie so gut reflektiert wird, heizen sich die Wafer viel schneller auf. Zudem entsteht eine gleichmäßige Temperatur über die gesamte Oberfläche. Man muss sich keine Sorgen mehr um ungleichmäßige Hitzezonen machen, die das Substrat beschädigen könnten.
Im Grunde geht es um einfache Physik: Bessere Reflexion bedeutet weniger Energieverlust – und weniger Energieverlust bedeutet, dass die Arbeitsprozesse schneller abgeschlossen werden können.