Warum goldbeschichtete Reflektoren für das Trocknen von Wafern wirklich wichtig sind
Beim Trocknen von Wafern geht es nicht nur darum, Wärme zu erzeugen – vielmehr geht es darum, gezielte Photonen direkt auf die Oberfläche der Wafer zu lenken.
Das Problem mit herkömmlichen Reflektoren ist, dass sie Energie durchlassen. Zu viel Energie entweicht einfach in den Gehäusebereich – das ist im Grunde genommen Verschwendung von Ressourcen. Deshalb verwenden wir Gold.
Vorteile der Goldbeschichtung
Gold ist hervorragend geeignet, Infrarotstrahlung zu reflektieren. Viele Menschen nutzen Aluminium, weil es billiger ist – doch Aluminium neigt dazu, bei hohen Temperaturen zu zerkratzen oder zu zerfallen. Gold tut das nicht. Es reflektiert die Infrarotwellen direkt zurück auf die Wafer – mit fast keiner Absorption. Dadurch wird eine genauere Fokussierung erreicht, und mehr der investierten Energie kommt tatsächlich zum Tragen.
Die richtige Temperatur erreichen
Um die Oberflächentemperaturen schnell anheben zu können, kombinieren wir diese Reflektoren mit IR-Lampen mit hoher Leistung. Wir erhöhen die Leistung, damit die Verdunstung schnell stattfindet.
Aber es gibt ein Problem: Wenn so viel Energie in einen kleinen Raum gepresst wird, entsteht Hitze. Wenn das Kühlsystem mit der entstehenden Wärme nicht fertigwerden kann, dehnt sich das Metall aus – und der Reflektor verliert seine Form. Es handelt sich dabei um ein Gleichgewichtsproblem.
Einfache Integration in die bestehende Anlage
Wir haben diese Reflektoren so konzipiert, dass sie als Ersatz für die vorhandenen IR-Arrays verwendet werden können. Es handelt sich dabei um einen einfachen Austausch.
Der Vorteil: Da die Strahlung so gut gefokussiert wird, kann man in der Regel die Gesamtleistung des Trockners senken, ohne die Geschwindigkeit des Trocknungsprozesses zu verringern. Dadurch spart man Stromkosten – und die Wafer trocknen weiterhin genauso schnell.
Wichtig: Halten Sie die Goldoberfläche sauber.
Wenn Schmutz oder Oxidation auf der Oberfläche entsteht, wird der Strahl gebrochen. Dadurch entstehen „heiße Punkte“, was dazu führen kann, dass die Wafer verbogen werden. Halten Sie sich an einen strengen Reinigungsplan – dann funktioniert alles reibungslos.
Letztendlich handelt es sich dabei um eine einfache Konstruktion: Hochleistungsquellen, goldbeschichtete Reflektoren sowie ein digitaler Controller, der dafür sorgt, dass der Prozess reibungslos abläuft. Keine komplizierte Software – nur reine Physik.