Hören Sie auf, Energie an der Aushärtung der Wafern zu verschwenden
Beim Aushärten von Wafern muss das thermische Profil genau richtig sein. Doch das Problem ist: Die meisten Systeme lassen die Wärme überall entweichen. Dadurch wird stattdessen der Maschinenrahmen erhitzt – nicht die Wafer selbst. Das ist eine Verschwendung – nicht nur von Energie, sondern auch von Geld.
Wohin geht die Wärme eigentlich?
Stellen Sie sich eine Aushärtungslampe ohne Reflektor vor. Mehr als die Hälfte der Energie strahlt einfach nach hinten ab. Im Grunde handelt es sich dabei um einen Heizkörper für den Fabrikboden.
Wir lösen dieses Problem, indem wir reflektierende Oberflächen aus Gold oder hochreinem Aluminium verwenden. Diese reflektieren die Energie direkt dorthin, wo sie hingehört – auf die Wafer.
Das Ergebnis? Die Aushärtung erfolgt weiterhin effektiv, doch der Energieverbrauch kann reduziert werden. Ihre Stromrechnung sinkt, und Ihr CO2-Fußabdruck wird kleiner. Es ist also ein Gewinn für alle Beteiligten.
Die Gefahr von „Kaltstellen“
Die Wahl des Materials ist wichtig. Wenn Sie kurzwelliges Infrarotlicht verwenden, benötigen Sie ein Material, das bei hohen Temperaturen nicht beschädigt wird.
Wenn der Reflektor verformt oder oxidiert, entstehen auf den Wafern „Kaltstellen“. Die meisten Leute reagieren darauf, die Leistung der Lampe erhöhen zu wollen. Tun Sie das nicht!
Eine zu hohe Leistung zerstört die Effizienz der Lampe und beschleunigt deren Verschleiß erheblich.
Der Kompromiss
„Grüner“ zu arbeiten bedeutet nicht, Magie einzusetzen – es gibt immer Kompromisse.
Da diese Reflektoren die Wärme so intensiv konzentrieren, wird es in der Umgebung der Lampe sehr heiß. Man kann die Kühlung nicht ignorieren. Falls die Luftzirkulation schwach ist, können die Lampengehäuse zerbersten. Man muss sicherstellen, dass die Kühlsysteme ordentlich funktionieren.
Die einfache Lösung
Wir haben diese Reflektoren so konzipiert, dass sie einfach als Ersatz verwendet werden können. Man muss keine ganzen Anlagen aufräumen oder die Produktionsgeschwindigkeit verringern. Man muss lediglich die Geometrie des Reflektors ändern – schon wird pro Zyklus weniger Energie verbraucht. Für alle, die versuchen, einen Reinraum klimaneutral zu machen, ohne dabei große Probleme zu haben, ist das wohl die praktischste Lösung.