En la planta de fabricación, la etapa posterior al lavado es cuando la calidad del producto puede deteriorarse en cuestión de minutos. La oblea sale del proceso de lavado con una superficie ligeramente rugosa y con humedad aún presente en su superficie. Si la temperatura durante el proceso de secado no se mantiene dentro de los límites adecuados, los disolventes permanecen en la superficie, lo que afecta la adherencia de la capa fotoreactiva. Además, el control de las dimensiones críticas también se ve afectado. Por eso, hemos desarrollado un calentador por infrarrojos para después del lavado, con el fin de eliminar esta variabilidad.
Qué es importante desde el punto de vista técnico
El dispositivo utiliza emisores de infrarrojos de onda corta, integrados en un módulo de cuarzo. Esto permite un calentamiento rápido y eficiente de la superficie de la oblea, sin necesidad de saturar toda la cámara de tratamiento. La uniformidad de temperatura se mantiene entre ±0,1°C, desde 80°C hasta 250°C, lo que permite utilizar diferentes procedimientos de secado. La respuesta del sistema es inferior a 3 segundos, lo que asegura un control preciso de la temperatura.
La compatibilidad con las salas limpias está garantizada: los materiales utilizados cumplen con las normas de clase 1–100, las superficies están electropulidas y existe un sistema de extracción que evita la generación de partículas durante el proceso. El control es de tipo cerrado, con un pirómetro calibrado y almacenamiento de las configuraciones, lo que garantiza la reproducibilidad de los resultados de un lote a otro.
Por qué funciona bien en producción
Después del lavado, basta colocar la oblea en el calentador; este ajustará automáticamente la temperatura necesario para el proceso. El tiempo de ciclo se reduce gracias al rápido calentamiento. El consumo energético está ajustado según la carga, por lo que es menor que en los métodos tradicionales de calentamiento.
La fiabilidad del sistema está garantizada para operar 24/7. Los datos obtenidos en campo muestran que el tiempo de inactividad no planificado es inferior al 0,1% en miles de ciclos de secado. Esto significa menos rework, cumplimiento constante de las especificaciones y un rendimiento fiable.
Qué hay que tener en cuenta al planificarlo
La instalación consiste simplemente en adaptar el tamaño de los conductos de extracción y confirmar la clase de voltaje adecuada para el equipo. El calentador es compacto, pero aún así se necesita espacio alrededor de su ventana de emisión para mantener un flujo de aire adecuado y una temperatura estable.
La transferencia de las configuraciones es sencilla para los procesos estándar. En casos de integraciones personalizadas, podría ser necesario un breve período de ajuste para adaptar el perfil térmico al material utilizado y a los químicos empleados en el proceso de limpieza.