در کارخانههای تولید، نوسانات دما در حین بررسی ویفرها و فرآیندهای پخت رزیست، نه تنها باعث اختلال در استانداردهای مشخص شده میشود، بلکه منجر به از بین رفتن کیفیت محصولات نیز میگردد. ما هیتر مناسبی برای این منظور طراحی کردهایم تا دما در محدوده مجاز باقی بماند، حتی زمانی که خط تولید در حال کار کامل است.
از نظر فنی، چه چیزهایی مهم هستند؟
این دستگاه از امواج مادون قرمز کوتاهبُرد و فرستندههای کوارتز-هالوژنی با پاسخ سریع برای تولید گرما استفاده میکند؛ بنابراین، فرآیند گرمایش قابل تکرار است. در سراسر ناحیه بررسی، یکنواختی دما در حد ±۰.۱ درجه سانتیگراد حفظ میشود؛ این امر باعث میشود فرآیندهای مهم مانند پخت نرم، پخت سخت و خشک کردن محصولات در محدوده دمایی مشخص باقی بمانند. بدنه هیتر نیز ساخته شده است تا با شرایط اتاقهای پاکسازی در کلاس ۱ تا ۱۰۰ سازگار باشد؛ همچنین، این دستگاه طوری طراحی شده است که هیچ ذرهای تولید نکند. ناحیه گرمایشی نیز از سایر بخشها جدا شده است و سطوح آن نیز به گونهای طراحی شدهاند که آلودگی کمتری ایجاد شود. بازخورد دما نیز قابل ردیابی است؛ بنابراین، فرآیند تولید در طول روز و بین سفارشات مختلف یکنواخت باقی میماند.
چرا این دستگاه در شرایط واقعی کارایی خوبی دارد؟
این هیتر، پایه حرارتی مورد نیاز برای فرآیندهای الیپسومتری و اندازهگیریهای مربوطه است؛ در این فرآیندها، سطح ویفر باید در دمای مشخصی باقی بماند. یکنواختی دما، تغییرات عرض خطوط را کاهش میدهد، قابلیت تکرارپذیری ضخامت لایهها را بهبود میبخشد و منجر به پیشبینی قابل اعتماد فرآیند خشک کردن میشود. نتیجه این امر، کاهش تعداد کارهای بازسازی، ثبات زمان فرآیند و کاهش محصولات باکیفیت پایین است. همچنین، میزان انرژی مصرفی نیز کاهش مییابد، زیرا زمان خنک شدن کوتاه و کنترل دقیق، از افزایش ناخواسته دما جلوگیری میکند.
نکاتی درباره نصب دستگاه:
برای نصب این دستگاه، باید محدوده مکانی ایستگاه بررسی را در نظر گرفت و نقطه تنظیم دما را متناسب با ویژگیهای رزیست و فرآیند پخت تنظیم کرد. هیتر وظیفه خود را انجام خواهد داد، اما کلیت فرآیند تولید همچنان به تنظیم صحیح پارامترها بستگی دارد. همچنین، فرستنده این دستگاه دارای عمر محدودی است؛ بنابراین باید آن را مانند یک قطعه تعمیراتی در نظر گرفت، تا از قطع ناگهانی دستگاه جلوگیری شود.