چرا از رفلکتورهای پوشیده شده با طلا برای گرم کردن در شرایط خلأ استفاده میکنیم؟
اگر تا به حال در چارچوب فرآیندهای پردازش ویفرها در محیط خلأ کار کردهاید، میدانید که هدر رفتن انرژی چقدر آزاردهنده است. بخش زیادی از انرژی موجود در منابع گرمایشی، صرفاً در دیوارههای محفظه خلأ از بین میرود. این کار، هم هدر رفتن انرژی الکتریکی است و هم، مهمتر از آن، هدر رفتن زمان شماست.
به همین دلیل از طلا استفاده میکنیم.
ویژگیهای رفلکتورهای پوشیده شده با طلا
اکثر مردم از رفلکتورهای آلومینیومی استفاده میکنند، اما مشکل اینجاست که آلومینیوم، انرژی مادون قرمز را بیش از حد جذب میکند. اما طلا متفاوت است؛ طلا بسیار کارآمد است و انرژی مادون قرمز را دقیقاً به سمت مقصد مورد نظر بازمیگرداند.
وقتی که یک لامپ با تراکم بالای انرژی مادون قرمز را در یک محفظه پوشیده شده با طلا قرار میدهیم، رفلکتور، انرژی را به سمت هدف مورد نظر هدایت میکند. در نتیجه، پرتو گرمایشی قویتری به دست میآید. بهترین نکته این است که میتوانید گرمای بیشتری به ویفرها برسانید، بدون اینکه نیاز به افزایش توان منبع الکتریکی یا فشار بیشتر بر سیستم الکتریکی وجود داشته باشد.
مشکلات مربوط به گرم کردن در شرایط خلأ
گرم کردن اشیاء در شرایط خلأ کار سختی است؛ زیرا هیچ هوایی برای انتقال گرما وجود ندارد. همه چیز از طریق تابش انجام میشود.
این بدان معناست که لامپها میتوانند بسیار داغ شوند، و این اتفاق به سرعت رخ میدهد. ما سیستمهای خود را طوری طراحی کردهایم که بتوانیم توان زیادی را در فضای کوچکی جای دهیم، اما باید مراقب باشیم. نمیتوانیم از سیستمهای خنککننده مناسب استفاده نکنیم. اگر سیستم خنککننده آبی کافی نباشد، رفلکتورها آسیب خواهند دید. این یک تعادل بسیار حساس است.
چگونه از این سیستمها استفاده کنیم؟
ما این گرمکنها را به گونهای طراحی کردهایم که استفاده از آنها ساده باشد. آنها باید بدون هیچ مشکلی در سیستم خلأ شما جای بگیرند.
از آنجایی که انرژی به خوبی متمرکز میشود، ویفرها خیلی سریع گرم میشوند. همچنین، دمای سطح ویفرها یکنواخت خواهد بود. دیگر نیازی نیست نگران نقاط داغ تصادفی باشیم؛ زیرا این نقاط میتوانند ساختار ویفرها را خراب کنند.
در واقع، همه چیز به فیزیک ساده برمیگردد؛ بازتاب بهتر، به معنای هدر رفتن کمتر انرژی است، و هدر رفتن کمتر انرژی، به معنای انجام سریعتر فرآیندهاست.