Pourquoi utilisons-nous des réflecteurs revêtus d’or pour le chauffage en vacuum ?
Si vous avez déjà travaillé avec des wafer dans une chambre à vide, vous connaissez bien le problème lié au gaspillage d’énergie. Une grande partie de l’énergie fournie par la source de chaleur disparaît simplement dans les parois de la chambre. C’est un gaspillage d’électricité, et surtout, un gaspillage de temps.
C’est pourquoi nous utilisons de l’or.
Les avantages des revêtements en or
La plupart des gens commencent par utiliser des réflecteurs en aluminium. Mais voici le problème : l’aluminium absorbe trop d’énergie infrarouge. L’or, lui, est incroyablement efficace pour renvoyer les rayons infrarouges là où ils doivent aller.
Lorsque nous plaçons une lampe à rayonnement infrarouge haute densité à l’intérieur d’une cavité revêtue d’or, le réflecteur force l’énergie à se diriger vers la cible désirée. On obtient ainsi un faisceau plus concentré et plus intense. Le meilleur aspect ? On obtient beaucoup plus de chaleur sur le wafer, sans avoir à augmenter la puissance de l’appareil ou à solliciter excessivement le système électrique.
Le problème : le chauffage en vacuum
Chauffer des objets en vacuum est plus complexe, car il n’y a pas d’air pour transporter la chaleur. Tout se fait par radiation. Cela signifie que les lampes peuvent devenir extrêmement chaudes très rapidement. Nous concevons nos systèmes pour qu’ils puissent contenir beaucoup de watts dans un espace très petit. Mais il faut être prudent : il ne faut pas négliger les systèmes de refroidissement. Si le circuit de refroidissement par eau est trop petit ou ne fonctionne plus correctement, cela peut entraîner des dommages au revêtement ou à l’enveloppe en quartz. C’est un équilibre délicat à trouver.
Comment faire en sorte que cela fonctionne pour vous ?
Nous avons conçu ces chauffeurs de manière simple. Ils doivent s’insérer facilement dans votre installation existante en chambre à vide. Comme l’énergie est bien concentrée, les wafer se chauffent beaucoup plus rapidement. De plus, on obtient une température uniforme sur toute la surface du wafer. Plus besoin de s’inquiéter des zones chaudes qui pourraient endommager le substrat et gâcher toute la production.
En somme, il s’agit simplement de physique : une meilleure réflexion signifie moins de gaspillage, et moins de gaspillage signifie que vous pouvez terminer vos cycles plus rapidement.