בשטח הייצור, שינוי של 0.3°C בטמפרטורה של הוופר יכול לגרום לשינוי ברמת ה-CD, לעיוותים בשכבת הפוטורזיסט, ולחריגה מהטמפרטורה האופטימלית שלה. אין אורות אזהרה – רק חומרים שאי אפשר להשתמש בהם, וצורך בטיפול דחוף מצד מחלקת הליתוגרפיה.
מה באמת חשוב
יצרנו מערכת חימום ממוקדת, המאפשרת שליטה עצמאית על כל אזור חימום בנפרד. כל אזור מחומם על ידי גלאי NIR בעל תגובה מהירה, עם פרופיל טמפרטורה יציב, כך שניתן לשמור על טמפרטורה עקבית בטווח של 150–300°C, עם שונות של ±0.1°C ברמת הוופר.
מערכת החימום נוצרה לשימוש בחדרי ייצור נקיים מסוג Class 1–100: חומרים שאינם פולטים גזים, ללא חומרי הדבקה חשופים, ועם משטח מושלם שמונע הצטברות של חלקיקים. האנרגיה מועברת דרך כבלים מוגנים נגד שדות אלקטרומגנטיים, והתוכנה שומרת על רשומות של כל שלב בתהליך החימום – אין צורך בהערכות, רק עקביות מושלמת.
למה זה עובד בעיבוד פוטורזיסט
בתהליכי חימום רגילים ואינטנסיביים, מערכת החימום הממוקדת שומרת על טמפרטורה אחידה בכל הוופר, מה שמפחית את השינויים ברמת ה-CD ועוזר לפתור בעיות בקצוות הוופר. כתוצאה מכך, יש שכבות קריטיות עקביות יותר, פחות צורך בתיקונים, וטווח פעולה צר יותר – בלי צורך לשנות את ההגדרות של תהליך החימום.
צריכת האנרגיה יורדת, מכיוון שרק האזורים הנדרשים מחוממים. זמן הפעולה גם הוא משתפר – המערכת מסוגלת לעבוד בקצב גבוה ללא עייפות תרמית, ויש מכשירים שפועלים יותר מ-5,000 שעות עם שונות של פחות מ-5% בפרודוקטיביות.
מה צריך להתכונן אליו
מערכת החימום הממוקדת דורשת אינטרפציה מכנית נקייה ואספקת אנרגיה יציבה. יש להתאים את המיקום ונקודות ההרכבה לגבי המקרה שבו יש להשתמש במערכת, לוודא את תקציבי הגז והאנרגיה, ולתכנן בדיקות ראשוניות כדי לוודא שהמערכת עובדת כראוי.
יש צורך בזמן עודף להגדרת המערכת. זו התמורה – כך ניתן לבצע תהליכי חימום אמינים, שעובדים שעה אחר שעה.