शार्ड्स को रोकें: इन्फ्रारेड लैंपों की खराबी से अपने वेफर्स को सुरक्षित रखें
सच कहें तो, इन्फ्रारेड लैंप का टूटना एक भयानक स्थिति है।
जब हाई-लोड में लैंप टूट जाता है, तो आपको केवल बंद होने की समस्या ही नहीं झेलनी पड़ती… बल्कि क्वार्ट्ज के टुकड़े एवं रासायनिक पदार्थ भी वेफर्स पर गिर जाते हैं। यह बहुत ही खराब स्थिति है… इसके कारण नुकसान भी होता है, और यह कोई ऐसी समस्या नहीं है जिसे कोई भी व्यक्ति झेलना चाहे।
इसीलिए हम अपने क्लीन रूम हीटरों को “सबसे खराब स्थिति” को ध्यान में रखकर ही बनाते हैं।
सुरक्षा उपाय
हम केवल क्वार्ट्ज ट्यूब पर ही भरोसा नहीं करते… हम पूरे उपकरण को एक अतिरिक्त सुरक्षा कवर में लपेट देते हैं।
इसे एक बीमा योजना के रूप में ही समझें… अगर मुख्य लैंप थर्मल शॉक के कारण टूट जाता है, तो यह सुरक्षा कवर सभी टुकड़ों को रोक लेता है… ऐसे में कोई भी टुकड़ा वेफर्स पर नहीं गिरेगा। इससे काम भी आसान हो जाता है… आप केवल आंतरिक लैंप को ही बदल सकते हैं, बिना पूरे चैंबर की सफाई किए।
गर्मी से निपटना
इन लैंपों के उपयोग से तापमान में बहुत ही बदलाव होता है… इससे लैंप टूटने से बचने हेतु हम उच्च शुद्धता वाले क्वार्ट्ज का उपयोग करते हैं… इससे लैंप विस्तार/संकुचन को सह सकते हैं। हम इलेक्ट्रोडों को रासायनिक रूप से जोड़ते हैं… ताकि सीलों से गैस लीक न हो।
लेकिन असली रहस्य तो PID कंट्रोलर ही हैं… ये तापमान पर लगातार नज़र रखते हैं… अगर शीतलन हवा कम हो जाती है, तो सिस्टम तुरंत ही बिजली बंद कर देता है… ऐसे में काँच अपने नरम होने के बिंदु तक भी नहीं पहुँच पाता।
वास्तविकता
ऊँचा तापमान तो अच्छा है… लेकिन इससे उपकरणों पर बहुत ही दबाव पड़ता है…
अगर आप उच्च वाटेज पर उपकरणों का उपयोग कर रहे हैं, तो आपके विद्युत कनेक्टरों पर बहुत ही दबाव पड़ता है… आपको यह सुनिश्चित करना होगा कि आपके वायरिंग सिस्टम इस धारा को सह सकें… वरना टर्मिनल पिघल जाएँगे। हम मजबूत वायरों का उपयोग करते हैं… लेकिन फिर भी आपको नियमिरूप से रखरखाव करना ही होगा।
हर 500 घंटों में अपने सीलों की जाँच करें… अगर सुरक्षा कवर ढीला हो जाता है, तो लैंप जल्दी ही खराब हो जाएँगे।
अपने चैंबर को साफ रखें… हवा को भी ठीक से चलने दें… ऐसा करने से आपके वेफर्स सुरक्षित रहेंगे।