वेफर प्रोबिंग एवं रेजिस्ट बेकिंग के दौरान तापमान में होने वाले उतार-चढ़ाव, न केवल उत्पादन मापदंडों को प्रभावित करते हैं, बल्कि उत्पादन की गुणवत्ता को भी खराब कर देते हैं। हमने ऐसा एलिप्सोमेट्री वेफर प्रोब हीटर बनाया है, जो तापमान को निर्धारित सीमा के भीतर ही रखता है… चाहे उत्पादन प्रक्रिया पूरी गति से चल रही हो।
तकनीकी दृष्टि से महत्वपूर्ण बातें:
यह हीटर शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड तरंगों का उपयोग करता है, एवं इसमें त्वरित प्रतिक्रिया देने वाला क्वार्ट्ज-हैलोजन एमिटर भी है। इस कारण तापमान नियंत्रण में स्थिरता बनी रहती है। वेफर की सतह पर तापमान स्थिर रहता है… ±0.1°C के भीतर। इससे सॉफ्ट बेक, हार्ड बेक एवं पोस्ट-बेकिंग प्रक्रियाएँ भी निर्धारित तापमान सीमा के भीतर ही होती हैं। हीटर का डिज़ाइन क्लास 1–100 के क्लीनरूम मानकों के अनुरूप है… एवं इसमें कोई कण उत्पन्न नहीं होता। हॉट ज़ोन अलग ही होता है… एवं सतहों को संरक्षित रखा जाता है, ताकि संदूषण न हो। तापमान नियंत्रण प्रणाली बहुत ही सटीक है… इसलिए प्रक्रिया हर दिन, एवं हर बैच में लगातार सुसंगत रहती है।
वास्तविक उपयोग में इसकी उपयोगिता:
यह हीटर, एलिप्सोमेट्री एवं मेट्रोलॉजी-आधारित प्रोब स्टेशनों में तापमान नियंत्रण हेतु आवश्यक है… क्योंकि मापन एवं सुखाने की प्रक्रियाओं के दौरान वेफर का तापमान निर्धारित सीमा में ही रहना आवश्यक है। ऐसा करने से उत्पादन प्रक्रिया में होने वाले उतार-चढ़ाव कम हो जाते हैं… फिल्म की मोटाई में भी स्थिरता बनी रहती है… एवं सॉल्वेंट से सुखाने के बाद तापमान भी नियंत्रित रहता है। इससे पुनर्निर्माण की आवश्यकता कम हो जाती है… उत्पादन प्रक्रिया में स्थिरता बनी रहती है… एवं तापमान संबंधी समस्याओं के कारण होने वाला नुकसान भी कम हो जाता है। इसके अलावा, कम ऊर्जा की आवश्यकता होती है… क्योंकि त्वरित एवं सटीक नियंत्रण के कारण अनावश्यक ऊर्जा खर्च नहीं होता।
कुछ और बातें:
इस हीटर की स्थापना हेतु, प्रोब स्टेशन के यांत्रिक डिज़ाइन के अनुरूप ही इसे सेट करना आवश्यक है… एवं रेजिस्ट स्टैक एवं बेकिंग प्रक्रिया के अनुरूप ही इसके सेटपॉइंट को समायोजित करना आवश्यक है। हीटर अपना काम तो करेगा ही… लेकिन पूरी प्रक्रिया तभी सफल होगी, जब सभी विवरण सही ढंग से सेट किए गए हों। एमिटर की उम्र सीमित होती है… इसलिए इसकी नियमित देखभाल आवश्यक है… ताकि अचानक कोई समस्या न हो।