फैब फ्लोर पर, वेफर थिनिंग एक तापीय संवेदनशील प्रक्रिया है। इन्फ्रारैड हीटिंग के दौरान गैर-समान ताप प्रोफ़ाइल केवल वेफर को विकृत ही नहीं करती; बल्कि यह वेफर के वॉरपेज, फोटोरेसिस्ट तनाव और माइक्रो-कृच के कारण उत्पादन हानि को बढ़ाती है, जो बाद में लिथोग्राफी और पैकेजिंग में सामने आते हैं। आपको एक ऐसे हीट सोर्स की आवश्यकता होती है जो पूरे सतह को एक समान थर्मल जोन के रूप में नियंत्रित कर सके।
तकनीकी दृष्टि से महत्वपूर्ण
हमारे शॉर्ट-वेव इन्फ्रारैड हीटिंग मॉड्यूल्स वेफर-स्तर की एकरूपता को पूरे सब्सट्रेट में ±0.1°C के भीतर बनाए रखते हैं, प्रतिक्रिया समय 2 सेकंड के भीतर है और सेटपॉइंट्स रूम टेम्परेचर से 450°C तक स्थिर हैं। एमिटर एरे क्वार्ट्ज-हेलोजन तत्वों का उपयोग करता है जो रिफ्लेक्टर ज्यामिति में लगे होते हैं और हॉट स्पॉट को कम करते हैं। थर्मल सिस्टम क्लास 1–100 क्लीनरूम संचालन के लिए डिजाइन किया गया है और स्टेडी स्टेट में यह शून्य पार्टिकल जनरेशन करता है। तापमान की पुनरावृत्ति 5,000+ घंटे तक ±0.5°C से बेहतर बनी रहती है, जिससे फोटोरेसिस्ट के सॉफ्ट बेक और हार्ड बेक प्रोफाइल नियमित रहते हैं।
यहाँ यह क्यों काम करता है
वेफर थिनिंग में ताप की आवश्यकता होती है लेकिन बिना प्रदूषण और बिना तापीय ग्रेडिएंट के, जो तनाव उत्पन्न करते हैं। इन्फ्रारैड ऊर्जा पतले सब्सट्रेट्स में तेजी से प्रवेश करती है, जिससे थर्मल बजट और सायकल समय कम होता है जबकि आयामी स्थिरता बनी रहती है। इसका परिणाम कम स्क्रैप वेफर, स्थिर क्रिटिकल डाइमेंशन कंट्रोल और बेक के बाद फिल्म चिपकने की पूर्वानुमानित स्थिति होती है। ऊर्जा की खपत कम होती है क्योंकि मॉड्यूल मांग पर हीट करता है और तेजी से ठंडा होता है, और कम रखरखाव वाली डिज़ाइन अनियोजित डाउनटाइम को रोकती है।
जानने योग्य बातें
इंस्टॉलेशन में एमिटर एरे और वेफर प्लेन के बीच सटीक ऑप्टिकल संरेखण आवश्यक होता है, और सिस्टम को क्वार्ट्ज विंडो पर संघनन को रोकने के लिए साफ और सूखी हवा चाहिए। मॉड्यूल SECS/GEM इंटीग्रेशन के लिए अनुकूल है, लेकिन यह खराब वेफर चकिंग को कवर नहीं करता; चक को पूरे बैकसाइड संपर्क के लिए एकरूप होना चाहिए ताकि ±0.1°C की पूर्ण समानता हासिल हो सके। इंटरफेस की योजना शुरू में ही बनाएं ताकि प्रक्रिया विंडो तुरंत खुल सके।