रिन्सिंग प्रक्रिया के दौरान, पानी के निशान एवं रेजिस्ट संबंधी समस्याएँ कोई सैद्धांतिक समस्याएँ नहीं हैं… ऐसी समस्याओं के कारण पूरी उत्पादन प्रक्रिया विफल हो जाती है। हमने ऐसी समस्याओं से बचने हेतु वॉटरप्रूफ इन्फ्रारेड लैंप विकसित किए हैं।
क्या महत्वपूर्ण है?
हम इन्फ्रारेड एमिटरों को सील्ड, वॉश-डाउन योग्य हाउसिंग में ही इस्तेमाल करते हैं। यह ऐसी तकनीक है जिसमें बिना किसी संपर्क के ही ऊष्मा प्रदान की जाती है… इससे वेफर पर ±0.1°C की सटीकता से ऊष्मा पहुँचती है… इससे फोटोरेजिस्ट पर लगने वाले प्रभाव भी नियंत्रित रहते हैं। तापमान में परिवर्तन भी नियंत्रित रहता है… इससे वेफर पर कोई दूषण नहीं लगता। ये लैंप क्लास 1–100 के क्लीनरूमों में भी आसानी से इस्तेमाल किए जा सकते हैं… और इनसे कोई कण भी नहीं निकलता।
उत्पादन में इसका क्या लाभ है?
रिन्सिंग से ड्रायिंग तक की प्रक्रिया में इन्फ्रारेड ऊष्मा सीधे वेफर की सतह को गर्म करती है… इससे सतही तनाव कम हो जाता है एवं वर्षा की गति बढ़ जाती है… इससे पानी के निशान कम हो जाते हैं… दोषों की संख्या भी कम हो जाती है… एवं पहली बार में ही उत्पादन सफल हो जाता है।
लिथोग्राफी में भी यही नियंत्रित तापमान वेफर पर लगने वाले प्रभावों को नियंत्रित रखता है… इससे वेफर की गुणवत्ता बेहतर रहती है।
यह सिस्टम लगातार काम करता रहता है… 5,000+ घंटों तक काम करने के बाद भी इसका ऑउटपुट 5% से कम घटता है… इससे कोई आश्चर्य नहीं होता… एवं लैंप बदलने की आवश्यकता भी नहीं होती। चूँकि ऊर्जा सीधे वेफर तक ही जाती है… इसलिए कन्वेक्शन ओवनों की तुलना में कम ऊर्जा ही खर्च होती है।
इसे कार्यशील बनाने हेतु क्या आवश्यक है?
लैंप को ट्रैक की ज्यामिति एवं रिन्सिंग मॉड्यूल के आकार के अनुरूप ही लगाना आवश्यक है… इसके अलावा नोजलों एवं स्पिन बाउलों के लिए भी उचित जगह आवश्यक है।
वॉटरप्रूफ सील एवं सुरक्षात्मक खिड़कियाँ तो मजबूत होती हैं… लेकिन विभिन्न रसायनों के कारण इनकी उम्र कम हो जाती है… इसलिए रिप्लेसमेंट की योजना आवश्यक है… एवं रसायनों की संगतता भी जरूरी है।
एमिटर की स्पेक्ट्रम एवं ऊर्जा घनत्व को फोटोरेजिस्ट के अनुरूप ही सेट करना आवश्यक है… अगर बहुत अधिक ऊष्मा तेजी से दी जाए, तो फोटोरेजिस्ट क्षतिग्रस्त हो सकता है… एवं रसायन भी वेफर पर जम सकते हैं।