Mantenere pulite le wafer: la verità sul riscaldamento
In una sala pulita di classe 100, anche un piccolissimo granello di polvere non è solo un fastidio: rappresenta infatti una condanna per la qualità delle wafer prodotte. La maggior parte degli elementi riscaldanti rappresenta quindi un problema: emettono gas o particelle ogni volta che si riscaldano e si raffreddano.
Ecco perché noi procediamo in modo diverso: utilizziamo lampade a infrarossi a base di quarzo sintetico ad alta purezza, progettate appositamente per l’industria dei semiconduttori.
La lotta contro il “vapore”
Il problema del vetro è che i materiali standard contengono tracce di metalli. Quando il materiale si scalda, queste impurità diventano volatile e finiscono direttamente sul substrato. Probabilmente avete notato quel fastidioso “vapore” durante i primi cicli di lavoro.
Noi evitiamo questo problema utilizzando tubi di quarzo ad alta purezza e un processo di pulizia estremamente preciso. Niente può rimanere attaccato alla superficie dei componenti, assolutamente nulla.
Un riscaldamento efficace
Queste lampade utilizzano raggi infrarossi a breve lunghezza d’onda, il che significa che raggiungono rapidamente la temperatura desiderata. Manteniamo quindi tolleranze molto strette, in modo che il calore sia distribuito uniformemente su tutta la superficie del tubo. Un consiglio: se utilizzate apparecchiature ad alta potenza, assicuratevi che il sistema di raffreddamento funzioni correttamente. Se non gestite bene il calore generato, le calibrazioni dei sensori potrebbero alterarsi, e allora sarete costretti a rifare tutto da capo.
Gestione dei componenti hardware
Abbiamo progettato questi componenti in modo che possano essere sostituiti facilmente: nessuno vuole infatti perdere tempo a causa di guasti. I sigilli sono robusti, quindi non c’è rischio che i gas allogenici filtrino nell’ambiente circostante. Un ultimo consiglio: assicuratevi che i connettori siano in grado di resistere al carico termico. Non vorrete scoprire troppo tardi che i terminali stanno fondendo…
Queste non sono certo strumenti che si possono utilizzare “e basta”. Bisogna comunque prestare attenzione al quarzo: col passare del tempo, sui tubi si accumulano dei residui derivanti dal processo di produzione. In tal caso, l’emissività cambia, e sarà necessario aumentare la potenza erogata per mantenere la stessa temperatura di superficie. Quando notate questo aumento, è arrivato il momento di sostituire la lampada.