Elemento riscaldante del forno per essiccazione dei wafer
Introduzione
I forni per la essiccazione dei wafer sono dispositivi molto esigenti. Hanno bisogno di un elemento riscaldante in grado di aumentare...
Riscaldatore a infrarossi per wafer dopo la pulizia
Nella fase di pulizia finale, è proprio in questo momento che la qualità del prodotto può peggiorare rapidamente. Il wafer, dopo essere stato pulito...
Riscaldamento zonato per impianti di produzione di wafer avanzati
Nella sala di produzione, una variazione di temperatura di 0,3°C su tutta la superficie del wafer è sufficiente per causare problemi legati alla...
Riscaldatore per sonda di wafer per ellisseometria
Nelle linee di produzione, le fluttuazioni di temperatura durante le operazioni di analisi dei wafer e di essiccazione del fotorest non solo...
Riscaldamento a infrarossi per l assottigliamento del wafer
Sulla linea di produzione, il sottileamento dei wafer è un’operazione termicamente sensibile. Un profilo termico non uniforme durante il...