なぜ真空加熱には金メッキされた反射器が使われるのか？ もし、真空チャンバー内でウェーハの処理をしたことがある人なら、エネルギーが無駄に消費されることの苦労をご存知でしょう。加熱源から出る多くのエネルギーが、単にチャンバーの壁に吸収されてしまいます。これは電力の無駄遣いであり、さらに重要なのは、時間の無駄でもあります。 だからこそ、私たちは金を使うのです。
金メッキの利点
ほとんどの人はアルミニウム製の反射器から始めますが、問題は、アルミニウムは赤外線エネルギーを過度に吸収してしまう点です。一方、金は全く異なり、赤外線を元の方向に効率的に反射します。 高密度の赤外線ランプを金メッキされた容器の中に入れると、反射器がそのエネルギーを目的の場所に向けて送り込みます。そうすることで、より集中した、強力な光束が得られます。最良な点は、電力供給を強化したり、電気系統に負担をかけたりせずに、ウェーハにより多くの熱を与えられることです。
真空状態での加熱の難しさ
真空状態で物を加熱するのは難しいです。なぜなら、熱を移動させる空気がないからです。対流が起こらず、すべてが放射によって行われます。 つまり、ランプは非常に高温になります。私たちは、小さなスペースに多くのワット数を詰め込むようにシステムを設計していますが、注意が必要です。冷却システムを軽視してはいけません。もし水冷システムが不十分だったり、故障したりすると、コーティングが損傷したり、クォーツケースが破損したりします。これは非常に重要なバランス問題です。
使いやすさの追求
私たちは、これらのヒーターをシンプルに作りました。既存の真空装置に簡単に取り付けられるようにしています。 エネルギーが集中されるため、ウェーハはより速く加熱されます。また、表面全体に均一な温度が得られます。もう、基板が変形してロット全体が台無しになる心配はありません。 結局のところ、これは単純な物理法則に基づいています。より良い反射率は、無駄を減らし、無駄が少なければ、処理もより速く完了します。