なぜ金コーティングされた反射器がウェーハの乾燥にとって重要なのか
ウェーハを乾燥させる際には、単に「熱」だけを求めているわけではありません。実際には、光子がウェーハの表面に正確に当たることが重要です。
通常の反射器の問題点は、エネルギーが外部に漏れ出してしまうことです。つまり、無駄なお金がかかってしまうのです。だからこそ、私たちは金を使用するのです。
金コーティングの利点
金は赤外線を反射する能力に優れています。安価なアルミニウムも使われますが、高温になるとアルミニウムは剥がれたり劣化したりします。一方、金はそういうことがありません。赤外線をほぼ吸収することなく、ウェーハに直接反射します。その結果、より正確に熱が伝わり、支払った電力の多くが実際に効果を発揮します。
適切な温度の実現
表面の温度を素早く上げるために、これらの反射器を高出力の赤外線ランプと一緒に使用します。高いワット数を利用することで、迅速な蒸発が実現します。
ただし、問題もあります。大量のエネルギーを狭い空間に詰め込むと、金属が膨張し、反射器の性能が低下してしまいます。これはバランスを取る必要がある問題です。
既存のシステムへの適用
私たちは、これらの反射器を既存の赤外線アレイの代替品として設計しました。簡単に交換できます。
良い点は、放射線が非常に集中しているため、ドライヤー全体の消費電力を抑えつつも、処理速度を落とすことがないということです。電気代も節約でき、ウェーハの乾燥速度も変わりません。
ただし、一つ注意点があります。**金の表面を常に清潔に保つことです。**表面に汚れや酸化物が付着すると、光が散乱してしまいます。そうすると「ホットスポット」が生じ、ウェーハが変形してしまいます。定期的な清掃を行えば問題ありません。
結局のところ、これは非常にシンプルなシステムです。高出力の光源、金コーティングされた反射器、そしてスムーズな温度調整を可能にするデジタルコントローラー。特別なソフトウェアは不要で、純粋な物理法則に基づいて動作します。