와이어의 청결을 유지하는 방법: 가열에 관한 진실
클래스 100급 청정실에서는 아주 작은 먼지 한 알도 단순한 성가신 요소가 아닙니다. 그것은 와이어의 품질을 해치는 치명적인 요소입니다. 대부분의 가열 요소들은 이런 상황에서 문제를 일으킵니다. 가열과 냉각 과정에서 가스나 입자들이 배출되기 때문입니다.
그래서 우리는 다른 방식을 사용합니다. 반도체 산업에 특화된 고순도 합성 석영 IR 램프를 사용하는 것입니다.
안개 현상을 방지하는 방법
유리의 경우, 일반적인 유리에는 미량의 금속이 포함되어 있습니다. 온도가 상승하면 이러한 불순물들이 증발하여 기판 위에 남게 됩니다. 처음 몇 번의 작동 과정에서 그러한 ‘안개’ 현상을 본 적이 있을 것입니다.
우리는 고순도 석영관과 극도로 세심한 청소 과정을 통해 이 문제를 해결합니다. 우리 공장에서 나가는 제품에는 어떠한 오염물도 남아 있지 않습니다.
효과적인 가열 성능
이 램프들은 단파장 IR을 사용하기 때문에 매우 빠르게 온도가 상승합니다. 우리는 온도가 고르게 분포하도록 주의를 기울입니다. 하지만 한 가지 조언을 드리자면, 고출력 설비를 사용할 때는 케이스의 냉각 시스템을 반드시 점검해야 합니다. 방사열을 제대로 처리하지 않으면 센서의 정확도가 떨어질 수 있습니다.
하드웨어 관리 방법
우리는 교체가 용이하도록 설계했습니다. 아무도 가동 중단을 원하지 않으니까요. 밀폐성이 좋아서 할로겐 가스가 환경으로 유출될 걱정도 없습니다. 한 가지 팁을 드리자면, 커넥터가 열에 견딜 수 있는지 반드시 확인해야 합니다. 단자가 녹는 상황을 겪고 싶지 않다면 말입니다.
결국, 이 램프들도 “설치하고 잊어버리는” 도구가 아닙니다. 석영관의 상태를 계속 관찰해야 합니다. 시간이 지나면 공정 과정에서 생긴 부산물들이 석영관에 쌓이게 됩니다. 그러면 발광 효율이 변하고, 같은 온도를 유지하기 위해서는 더 많은 에너지가 필요해집니다.
이런 상황이 되면 새로운 램프를 교체해야 합니다.