왜 금코팅된 반사체가 실리콘 웨이퍼에 있어서 그토록 중요한지 실리콘 웨이퍼를 가열할 때, 낭비되는 에너지는 곧 돈의 손실을 의미합니다. 대부분의 사람들은 일반적인 알루미늄 반사체를 사용합니다. 물론 저렴하긴 하지만 문제가 있습니다. 알루미늄은 적외선의 전체 스펙트럼을...

공장 내 탄소 배출량 줄이기: 정밀한 적외선 가열이 효과적인 이유 요즘에는 “친환경 공장”에 대한 이야기가 많습니다. 하지만 반도체 공장을 운영하는 사람이라면, 탄소 배출량을 줄이는 것이 결국 한 가지 요소에 달려 있다는 것을 알고 있습니다. 바로 열을 어떻게 처리하...

리소그래피 라인에서 소프트 베이크와 하드 베이크는 타협하지 않는다. 포토레지스트는 열처리 조건에 따라 행동하며 예외는 없다. IR 램프가 약하거나 불안정하면 재작업이 불가능하다. 그 결과 라인폭 편차, 불순물 잔류, 불량이 발생한다. 300 mm 웨이퍼를 코팅, 베이...