PVD(물리적 증기 증착) 램프

Fab 라인에서 PVD 공정이 램프 다운으로 멈추면 웨이퍼 대기열이 멈춰 섭니다. 열 예산이 변동하고, 박막 두께가 흔들리며, 알람이 해제되기도 전에 수율이 떨어집니다. 라인을 지배하는 열원이 아니라 라인 속도에 맞춰 움직이는 열원이 필요합니다. 기술적으로 중요한 점...