Menjaga Kebersihan Wafer: Kebenaran Mengenai Proses Pemanasan
Dalam bilik bersih kelas 100, setiap zarah habuk yang kecil sebenarnya merupakan ancaman besar kepada kualiti wafer tersebut. Kebanyakan unsur pemanas akan mengeluarkan gas atau zarah-zarah tertentu setiap kali ia dipanaskan dan disejukkan.
Itulah sebabnya kami menggunakan pendekatan yang berbeza. Kami menggunakan lampu IR berasaskan kuarsa sintetik yang berkualiti tinggi, yang direka khusus untuk digunakan dalam industri semikonduktor.
Mengatasi masalah “kabut”
Kaca biasa mempunyai kandungan logam berbahaya. Apabila kaca tersebut dipanaskan, bahan-bahan tercemar ini akan menjadi gas dan melekat pada permukaan wafer. Anda mungkin pernah melihat fenomena “kabut” ini semasa proses pemprosesan awal.
Kami mengelakkan masalah ini dengan menggunakan tiub kuarsa yang berkualiti tinggi, serta proses pembersihan yang sangat teliti. Tidak ada bahan sisa yang boleh tinggal di permukaan wafer.
Pemanasan yang efektif
Lampu-lampu ini menggunakan gelombang inframerah pendek, jadi suhu yang dihasilkan sangat tinggi. Kami memastikan suhu tetap stabil di seluruh permukaan tiub tersebut. Namun, jika anda menggunakan sistem pemanasan berkuasa tinggi, pastikan sistem penyejukan berfungsi dengan baik. Jika tidak, penyesuaian sensor akan terjejas, dan ia akan menyusahkan proses pemprosesan.
Mengurus peralatan dengan baik
Kami mereka bentuk peralatan ini supaya mudah diganti, kerana tiada siapa yang ingin menghadapi masa henti operasi. Sumbatan pada peralatan juga dapat dielakkan, jadi gas halogen tidak akan bocor ke persekitaran sekeliling. Satu nasihat lagi: pastikan konektor tersebut mampu menahan beban haba yang tinggi. Anda tentu tidak mahu perlu mengganti konektor tersebut apabila ia rosak akibat haba yang berlebihan.
Perlu diingat bahawa peralatan ini bukanlah alat yang boleh dibiarkan tanpa pemantauan. Anda perlu memeriksa keadaan kuarsa secara berkala. Seiring masa berlalu, bahan sisa akan terkumpul pada permukaan tiub tersebut. Ini akan menyebabkan perubahan pada kadar pelepasan haba. Anda akan perasan bahawa penggunaan tenaga meningkat untuk mengekalkan suhu yang sama. Apabila ini berlaku, sudah tiba masanya untuk mengganti lampu tersebut.