Op de productielijn kunnen temperatuurschommelingen tijdens het testen van de wafers en het bakken van de photoresist niet alleen leiden tot afwijkingen van de vereiste specificaties, maar ze kunnen ook zorgen voor verspilling van producten. We hebben een heater ontwikkeld die wordt gebruikt bij de ellipsometrische metingen, zodat de temperatuur binnen de gewenste grenzen blijft, zelfs wanneer de productielijn op volle capaciteit draait.
Wat technisch gezien belangrijk is: De heater maakt gebruik van kortegolfinfraroodlicht en een snel reagerend kwarts-halogeenemitter. Hierdoor is de temperatuurregeling nauwkeurig en stabiel. Over de hele oppervlakte van de wafer blijft de temperatuur binnen ±0,1°C. Dit zorgt er vervolgens voor dat de cruciale stappen zoals het zacht bakken, het hard bakken en het drogen van de wafer binnen de gewenste temperatuurbereiken blijven. Het lichaam van de heater is geschikt voor gebruik in een schone ruimte van klasse 1–100 en is zo ontworpen dat er geen deeltjes vrijkomen. De hete zone is geïsoleerd en de oppervlakken zijn gepassiveerd om besmetting te voorkomen. De temperatuurregeling is nauwkeurig, zodat de procesparameters elke dag en tussen verschillende loten consistent blijven.
Waarom deze heater in de praktijk werkt: Deze heater vormt de thermische basis voor apparaten die worden gebruikt voor ellipsometrische metingen en andere metingstermen. Hier moet het substraat tijdens de metingen en het drogen op een constante temperatuur blijven. Een hoge uniformiteit zorgt voor minder variaties in de dikte van de laag en maakt het mogelijk om de droogtijd nauwkeurig te bepalen. Hierdoor zijn er minder herwerkingsstappen nodig, zijn de cyclustijden stabiel en wordt er minder product verspild door temperatuurschommelingen. Bovendien wordt er minder energie verbruikt, omdat de korte belichtingstijd en nauwkeurige temperatuurregeling onnodige overschrijdingen voorkomen.
Nog wat tips voor de productielijn: Bij de installatie moet de mechanische structuur van de meetapparatuur worden aangepast en moet de ingestelde temperatuur worden gecalibreerd op basis van de specificaties van de photoresist en het bakproces. De heater doet zijn werk, maar het totale proces hangt nog steeds af van de juiste instellingen. De emitter heeft ook een beperkte levensduur – behandelen Sie hem dus als onderdeel van de reguliere onderhoudsprocessen, zodat u niet wordt verrast door storingen.