Waarom we goudcoaten gebruiken voor vacuümverwarming
Als je ooit met het verwerken van wafers in een vacuümkamer hebt gewerkt, weet je hoe frustrerend het is om energie te verspillen. Veel van de energie uit de verwarmingsbron gaat namelijk verloren in de wanden van de kamer. Dat is zowel een verspilling van elektriciteit als van tijd.
Daarom gebruiken we goud.
Het voordeel van goudcoatings
De meeste mensen beginnen met aluminimumreflectoren. Maar hier is het probleem: aluminium neemt te veel infraroodstraling op. Goud is anders. Het kan infraroodstraling zeer efficiënt terugkaatsen naar waar het thuishoort.
Wanneer we een lamp met hoge intensiteit in een goudgecoatteerde kamer plaatsen, zorgt de reflector er namelijk voor dat de energie rechtstreeks naar het gewenste gebied wordt gestuurd. Hierdoor krijg je een sterker en meer geconcentreerd lichtbundel. Het beste van alles? Je krijgt veel meer warmte op de wafer, zonder dat je de vermogensvoorziening hoeft te verhogen of je elektrische systeem onder druk te zetten.
Het lastige aspect: hitte in een vacuüm
Het verwarmen van objecten in een vacuüm vereist andere strategieën, want er is geen lucht die de hitte kan verspreiden. Er vindt geen convectie plaats; alles gebeurt via straling.
Dit betekent dat de lampen zeer heet kunnen worden. We ontwerpen onze systemen zo dat er veel wattage in een klein ruimte kan worden opgeslagen. Maar je moet goed opletten: de koelsystemen mogen niet te zwak zijn. Als het koelsysteem te klein is of het niet meer werkt, kan dat leiden tot beschadigde coatings of een verbrande kwartskern. Het is een delicate balans.
Het maken van dit systeem gebruiksvriendelijk
We hebben deze heaters zo ontworpen dat ze gemakkelijk in bestaande vacuümsystemen kunnen worden geplaatst. Omdat de energie zo geconcentreerd wordt, worden de wafers sneller verwarmd. Bovendien wordt de temperatuur over het hele oppervlak gelijkmatig verdeeld. Je hoeft je geen zorgen meer te maken over plekken waar het te heet wordt en waardoor het materiaal beschadigd kan raken.
Het komt uiteindelijk neer op simpele fysica: betere reflectie betekent minder verspilling, en minder verspilling betekent dat je je processen sneller kunt uitvoeren.