Utrzymanie czystości płytek krzemowych: prawda o ogrzewaniu
W pomieszczeniach klasy 100 nawet jeden mały drobinka kurzu stanowi poważny problem – jest to przyczyna spadku jakości płytek krzemowych. Większość elementów grzewczych stanowi tu zagrożenie, ponieważ przy każdym nagrzewaniu i ochładzaniu uwalniają gazy lub cząsteczki.
Dlatego postępujemy inaczej. Korzystamy z lamp IR z syntetycznego kwarcu o wysokiej czystości, specjalnie opracowanych dla przemysłu półprzewodnikowego.
Walka z efektem „mgły”
Szkło zawiera wiele metali, które uwalniają się wraz z wzrostem temperatury. Te zanieczyszczenia osadzają się na powierzchni płytek krzemowych. Prawdopodobnie widzieliście ten irytujący efekt „mgły” podczas pierwszych cykli pracy urządzenia.
Unikamy tego, używając rur z kwarcu o wysokiej czystości oraz skutecznego procesu czyszczenia. Nic nie może zostać w naszym zakładzie z pozostałościami chemicznymi na powierzchni. Koniec.
Ogrzewanie, które faktycznie działa
Te lampy wykorzystują krótkofalowe promieniowanie IR, dzięki czemu szybko osiągają pożądaną temperaturę. Utrzymujemy ścisłe tolerancje, aby temperatura była jednakowa na całej długości rury. Ale miejmy na uwadze jedną rzecz: jeśli używasz urządzeń o dużej mocy, sprawdź dobrze system chłodzenia obudowy. Jeśli nie poradzisz sobie z ciepłem emitowanym przez lampy, kalibracja czujników będzie niesprecyzyzowana.
Obsługa sprzętu
Stworzyliśmy te lampy tak, aby można je było łatwo wymieniać – nikt bowiem nie chce przerw w pracy. Uszczelki są szczelne, więc nie musisz się martwić o wyciek gazu halogenowego do otoczenia. Jedna rada: upewnij się, że twoje konektory są w stanie poradzić sobie z obciążeniem termicznym. Nie chcesz przecież odkryć na własnej skórze, że twoje terminaly topią się.
To nie są narzędzia, których można po prostu zapomnieć. Musisz stale sprawdzać stan kwarcu. Z czasem na rurze gromadzą się odpady procesowe. Wtedy zmienia się emisja ciepła. Zauważysz, że zużycie energii rośnie, aby utrzymać tę samą temperaturę powierzchni. Gdy to nastąpi, czas wymienić lampę na nową.