Na linii produkcyjnej wystarczy różnica temperatury na powierzchni płytki wynosząca 0,3°C, aby doszło do zmiany jej wymiarów, błędów w pokryciu warstwy fotoopornikowej oraz przekroczenia dopuszczalnych wartości temperaturowych. Nie ma żadnych sygnałów ostrzegawczych – tylko bezużyteczne produkty i pilne wezwania z działu litografii.
Co naprawdę jest istotne Zastosowaliśmy system ogrzewania z podziałem na strefy, który umożliwia niezależną kontrolę poszczególnych stref termicznych. Każda strefa jest obsługiwana przez emitory światła w zakresie podczerwieni o szybkim czasie reakcji, z profilami temperatury stabilizowanymi kwarcem. Dzięki temu uzyskujemy spójne wartości temperatury w przedziale od 150–300°C, z dokładnością ±0,1°C.
Blok grzewczy został zaprojektowany do użytku w salach o czystości klasy 1–100: użyto materiałów o niskiej ilości gazów uwalnianych podczas pracy, brak jest ekspozycji klejów, a powierzchnia jest tak przygotowana, aby uniknąć nadmiaru cząsteczek. Energia jest dostarczana za pomocą zabezpieczonych kabli odpornych na zakłócenia elektromagnetyczne. Oprogramowanie sterujące rejestruje każdy krok procesu, co zapewnia dokładność i możliwość powtarzalności procesu.
Dlaczego to rozwiązanie sprawdza się w procesie obróbki fotoopornika W przypadku delikatnego i intensywnego ogrzewania, system ogrzewania z podziałem na strefy zapewnia utrzymanie specyficznych warunków temperaturowych na całej powierzchni płytki. To zmniejsza wahania współczynnika odbicia i pomaga w rozwiązywaniu problemów z brzegami płytki. W rezultacie uzyskujemy bardziej spójne warstwy fotoopornikowe, mniej konieczności przeróbek i mniejsze odchylenia w parametrach procesu – bez konieczności zmiany ustawień procesu.
Użytek energii jest mniejszy, ponieważ grzeją się tylko aktywne strefy. Poprawia się również nieprzerwaność pracy urządzenia: projekt umożliwia pracę przy wysokim tempie cykli bez efektu zmęczenia termicznego. Urządzenia mogą pracować nawet 5 000 godzin z odchyleniami wynoszącymi mniej niż 5%.
Co należy uwzględnić przy planowaniu System ogrzewania z podziałem na strefy wymaga czystej powierzchni mechanicznej oraz stabilnych źródeł energii. Należy dopasować rozmiary i punkty montażu do specyfikacji płyty grzewczej, sprawdzić dostępne zasoby gazu i energii oraz zaplanować krótki okres kalibracji, aby dostosować ustawienia do wymogów metrologii.
Wymagany jest nieco więcej czasu na konfigurację. To koszt, który jest konieczny, aby móc korzystać z procesu, którym można polegać, od zmiany do zmiany.