Garantindo que suas ferramentas para trabalhar com wafers não quebrem ou causem danos
Quando se trabalha com ferramentas de alta precisão para manipulação de wafers, as margens de erro são mínimas. Um pequeno vazamento elétrico já é suficiente para estragar todo o lote de silício produzido.
É por isso que não realizamos “testes de amostra” aqui. Não basta testar apenas alguns produtos e esperar pelo melhor. Cada lâmpada e elemento de aquecimento que sai da nossa fábrica passa por testes completos de resistência à tensão e de isolamento. Sem exceções.
Testando a resistência do sistema
A maioria dos vazamentos acontece devido a rachaduras microscópicas no quartzo ou a selos que não estão completamente limpos. Para detectar esses problemas, submetemos os equipamentos a testes de alta tensão – muito acima do que é utilizado na produção real. O objetivo é fazer com que quaisquer pontos fracos sejam identificados antes que causem problemas dentro das próprias ferramentas.
Se a corrente de vazamento for muito alta? Simples: descartamos o componente danificado.
O lado “silencioso” da segurança
Enquanto os testes de alta tensão ajudam a detectar falhas, os testes de resistência ao isolamento nos informam sobre a condição geral do material. Verificamos os valores de megohms entre os elementos elétricos e o chassi aterrado. É um procedimento tedioso, mas é ele que evita que os disjuntores funcionem de maneira inadequada. Além disso, ajuda a evitar ruídos elétricos no ambiente onde os wafers estão armazenados, que já é bastante sensível.
A realidade prática
Sejamos honestos: nenhum isolante dura para sempre. As ferramentas passam por ciclos térmicos constantes – expandindo e contraindo-se repetidamente. Com o tempo, isso acaba danificando os selos. Mesmo que nossos testes garantam que tudo esteja perfeito no primeiro dia, ainda é necessário monitorar a corrente de vazamento ao longo do tempo.
Alguns conselhos práticos:
Se você estiver utilizando elementos de alta potência, seus conectores sofrerão muito. Certifique-se de que os cabos possam suportar o calor extremo, caso contrário, o isolamento dos cabos poderá se derreter.
E se você estiver elevando a tensão até o limite máximo permitido, verifique cuidadosamente o sistema de resfriamento. Se o revestimento do equipamento amolecer, você estará em apuros.