Por que usamos refletores revestidos de ouro para aquecimento em vácuo
Se você já trabalhou com o processamento de wafers em uma câmara de vácuo, sabe bem como é frustrante perder energia desnecessariamente. Grande parte da energia proveniente da fonte de aquecimento acaba se perdendo nas paredes da câmara. Isso representa um desperdício de eletricidade e, mais importante ainda, um desperdício de tempo. É por isso que usamos ouro.
As vantagens dos revestimentos de ouro
A maioria das pessoas começa usando refletores de alumínio, mas há um problema: o alumínio absorve muita energia infravermelha. O ouro é diferente. Ele é extremamente eficaz em refletir os raios infravermelhos de volta para onde eles pertencem. Quando colocamos uma lâmpada infravermelha de alta densidade dentro de uma cavidade revestida de ouro, o refletor faz com que a energia seja direcionada exatamente para o alvo desejado. Assim, obtém-se um feixe de luz mais intenso e concentrado. E o melhor de tudo? Obtemos muito mais calor na superfície do wafer, sem precisar aumentar a potência da fonte de energia ou sobrecarregar o sistema elétrico.
O desafio: aquecimento em vácuo
Aquecer objetos em vácuo é um desafio, pois não há ar para transferir o calor. Não há convecção. Tudo acontece por meio de radiação. Isso significa que as lâmpadas podem ficar extremamente quentes, e isso acontece rapidamente. Nós projetamos nossos sistemas para concentrar muita potência em um espaço pequeno, mas é preciso ter cuidado. Não se pode negligenciar os sistemas de resfriamento. Se o circuito de resfriamento por água for pequeno demais ou falhar, o revestimento pode se danificar ou o invólucro de quartzo pode queimar. É um equilíbrio delicado.
Tornando tudo mais simples
Criamos esses aquecedores para que sejam fáceis de usar. Eles devem se encaixar perfeitamente em sua instalação de vácuo atual, sem causar problemas. Como a energia é bem concentrada, os wafers esquentam muito mais rápido. Além disso, a temperatura fica uniforme em toda a superfície do wafer. Não há mais necessidade de se preocupar com pontos quentes que possam distorcer o substrato e estragar todo o lote de produtos. Na verdade, trata-se de física básica: maior reflexão significa menos desperdício de energia, e menos desperdício significa que os ciclos de processamento são concluídos mais rapidamente.