Manter suas wafers limpas: A verdade sobre o aquecimento
Em uma sala limpa de classe 100, até mesmo uma pequena partícula de poeira pode ser fatal para a qualidade das wafers. A maioria dos elementos de aquecimento representa um risco nesse contexto, pois eles liberam gases ou partículas a cada vez que são aquecidos e resfriados.
Por isso, agimos de maneira diferente. Usamos lâmpadas de quartzo sintético de alta pureza, projetadas especificamente para o setor de semicondutores.
Combate ao “embaçamento”
O problema com o vidro é que ele contém metais em pequenas quantidades. Quando o vidro se aquece, essas impurezas se vaporizam e acabam ficando no substrato. Provavelmente você já viu esse “embaçamento” nos primeiros ciclos de uso.
Para evitar isso, usamos tubos de quartzo de alta pureza e um processo de limpeza extremamente rigoroso. Nada sai da nossa fábrica com resíduos nas superfícies. Ponto final.
Calor eficaz
Essas lâmpadas utilizam radiação infravermelha de onda curta, o que significa que alcançam rapidamente a temperatura desejada. Mantemos as tolerâncias bem controladas, para que o calor seja uniforme em todo o tubo. Mas um conselho: se você estiver utilizando um sistema de alta potência, verifique bem o sistema de resfriamento do chassi. Se você não conseguir controlar o calor gerado, as calibrações dos sensores começarão a falhar.
Manuseio adequado do hardware
Fizemos com que essas lâmpadas fossem fáceis de substituir, pois ninguém gosta de paradas desnecessárias. As vedações são precisas, então você não precisa se preocupar com a fuga de gases halógenos para o ambiente externo. Só um conselho: certifique-se de que seus conectores conseguem suportar a carga térmica. Você não quer descobrir, da pior maneira possível, que seus terminais estão se derretendo.
Agora, essas não são ferramentas que podem ser deixadas sem supervisão. É preciso vigiar constantemente o estado do quartzo. Com o tempo, subprodutos do processo se acumulam no tubo. Quando isso acontece, a emissividade muda. Você perceberá que a demanda de energia aumenta, só para manter a mesma temperatura na superfície.
Quando isso acontecer, é hora de trocar a lâmpada por uma nova.