Более эффективный способ сушки пластин с МЭМС-датчиками (и экономия энергии)
При сушке пластин с МЭМС-датчиками необходимо добиться полного удаления влаги. Но если использовать слишком высокую температуру, это может привести к повреждению тонких микроструктур на поверхности пластин.
Старый способ – использование конвекционных печей. Но проблема в том, что они тратят огромное количество энергии на нагрев воздуха во всей камере. Это является расточительством.
Мы нашли лучший способ – использование инфракрасных ламп коротких волн. Вместо нагрева воздуха эти лампы направляют тепло непосредственно на поверхность пластины. Это делает процесс более эффективным и позволяет сэкономить много энергии.
Как это работает
Представьте себе, что вы стоите на солнце в холодный день. Вы не ждете, пока воздух вокруг вас нагреется; вы сразу чувствуете тепло на своей коже. Именно так действуют фотоны инфракрасного излучения на поверхность пластины.
Благодаря мгновенному нагреву процесс сушки занимает гораздо меньше времени. Когда оборудование не работает целые часы подряд для обработки одной партии продукции, расходы на электроэнергию и уровень выбросов углерода снижаются.
Недостатки (Поскольку ничего не бывает идеальным)
Чтобы добиться быстрого испарения влаги, используются высокомощные кварцевые лампы. Они способны обрабатывать пластины размером 200 мм или 300 мм без каких-либо проблем.
Но есть один недостаток: высокий уровень тепла требует очень точного контроля за температурой. Если датчики выходят за пределы заданной температуры, это может привести к повреждению пластин или МЭМС-мембран. Необходимо тщательно настраивать параметры работы оборудования.
Как сделать производство более «зеленым»
Замена традиционных конвекционных печей на инфракрасные лампы – один из самых простых способов снизить уровень выбросов углерода на производстве. Это позволяет избежать потерь энергии.
Прежде чем заменять старое оборудование, обязательно проверьте источник питания. Инфракрасные лампы могут потреблять большое количество энергии при запуске. Также убедитесь, что изоляция оборудования достаточная, чтобы тепло не распространялось на другие чувствительные компоненты.