Перестаньте тратить зря энергию: правда о инфракрасных лампах с золотым покрытием
Если вы обрабатываете полупроводниковые пластины и при этом теряете энергию, значит, у вас проблемы с дизайном устройства. Всё проще не бывает.
При работе с инфракрасными лампами, не выделяющими озон, цель не заключается просто в том, чтобы нагреть поверхность пластины. Необходимо, чтобы энергия попадала именно туда, где это нужно, без вреда для окружающей среды.
Зачем использовать золото?
Большинство людей начинают с использования алюминиевых отражателей. Но алюминий слишком сильно поглощает свет. Это как пытаться отразить мяч от губки.
Мы используем золото, потому что оно отлично отражает инфракрасный свет. Благодаря этому слойу фотоны возвращаются обратно к цели. Таким образом достигается более точное фокусирование, а каждый квадратный миллиметр получает больше энергии. Это делает процесс более эффективным.
Проблема с теплом
Поскольку эти лампы не выделяют озон, они не создают излучения длиной волн 185 нм. Это хорошо, ведь нет необходимости беспокоиться о накоплении озона в камере. Среда остается стабильной, что облегчает работу.
Но есть один нюанс. Когда такое количество энергии сосредотачивается в таком маленьком пространстве, тепловая нагрузка становится огромной. Если вы используете лампы с высокой мощностью, необходимо обязательно использовать эффективные системы охлаждения. Если поток воздуха будет недостаточным, возникнут проблемы с нагревом. Это приведет к неравномерной обработке пластин.
Что нужно учитывать
Золото отлично подходит для перенаправления света, но оно очень мягкое. Если вы будете обрабатывать его как алюминий, вы его повредите. Лучше использовать методы чистки без контакта с поверхностью. Один лишний царапин может разрушить фокусировку света, что приведет к проблемам с обработкой пластин.
Еще один совет: подключите лампы к точному контроллеру PID. Благодаря золоту тепловой поток становится гораздо эффективнее, поэтому пластины будут нагреваться быстрее, чем обычно. Вам потребуется скорректировать параметры регулировки температуры. В противном случае возникнут проблемы с тепловым шоком, чего никто не хочет.