Как сохранить чистоту ваших пластин: правда о нагревании
В чистой комнате класса 100 даже один крошечный кусочек пыли представляет серьезную проблему – он может привести к значительным потерям в производстве пластин. Большинство нагревательных элементов здесь являются источником проблем: при нагревании и охлаждении они выделяют газы и частицы.
Поэтому мы используем специальные лампы на основе синтетического кварца высокой чистоты, разработанные специально для использования в производстве полупроводников.
Борьба с эффектом „тумана“
Стандартное стекло содержит микроколичества металлов. При нагревании эти примеси испаряются и оседают на поверхности пластины. Вы, вероятно, уже сталкивались с этим неприятным явлением в первые циклы работы оборудования.
Мы избегаем этого за счет использования трубок из кварца высокой чистоты и очень тщательной процедуры очистки. Ничего не должно остаться на поверхности трубки.
Эффективный нагрев
Эти лампы используют коротковолновое инфракрасное излучение, что позволяет им быстро достигать нужной температуры. Мы строго контролируем параметры нагрева, чтобы температура была одинаковой по всей длине трубки. Но есть один совет: если вы используете лампы с высокой мощностью, обязательно проверьте систему охлаждения корпуса. Если вы не сможете контролировать излучаемое тепло, калибровка датчиков будет нарушаться.
Удобство в эксплуатации
Мы сделали эти лампы такими, чтобы их было легко заменять – ведь никто не любит перерывов в работе. Герметичные соединения предотвращают утечку галогеновых газов. Еще один совет: убедитесь, что ваша проводка выдерживает тепловую нагрузку. Вы ведь не хотите, чтобы контакты растопились.
Это не те устройства, которые можно просто оставить без внимания. Необходимо постоянно контролировать состояние кварцевых трубок. Со временем на них накапливаются продукты процесса. Тогда коэффициент излучения меняется. Вы заметите, что потребление энергии увеличивается, чтобы поддерживать прежнюю температуру поверхности. Когда это происходит, приходит время заменить лампу.