На производственной площадке достаточно небольшого изменения температуры в 0,3°C на поверхности кристалла, чтобы это повлияло на параметры фотополимера, привело к его деформации и вывело его температуру за пределы допустимых значений. Нет никаких сигналов тревоги. В итоге получается бракованный продукт, а также необходимость срочного вмешательства со стороны специалистов по литографии.
Что действительно важно Мы использовали систему зонированного нагрева с автономным управлением отдельными тепловыми зонами. Каждая зона оснащена излучателями в инфракрасном диапазоне с высокой скоростью реакции; профиль температуры контролируется с помощью кварцевых элементов. Таким образом, температура в каждой зоне остается стабильной в диапазоне от 150 до 300°C с точностью ±0,1°C.
Сам блок нагревателя разработан для использования в чистых помещениях класса 1–100: используются материалы с минимальным уровнем выбросов газов, отсутствуют открытые клеевые составы, а поверхность имеет такую текстуру, которая позволяет контролировать количество частиц на её поверхности. Электропитание поступает через защищенные кабели, устойчивые к электромагнитным помехам. Программное обеспечение для управления записывает все параметры процесса, что позволяет избежать случайных ошибок и обеспечивает повторяемость результатов.
Почему это работает при обработке фотополимера Благодаря зонированному нагреву вся поверхность кристалла остается в заданных параметрах, что снижает изменения коэффициента отражения и уменьшает проблемы с краями кристалла. Это позволяет получать более однородные слои фотополимера, сокращать количество повторных процедур и увеличивать точность процесса — без необходимости изменять параметры процесса.
Потребление энергии снижается, так как нагревается только активная зона. Также улучшается время работы устройства: конструкция позволяет работать при высокой частоте циклов без перегрева. Устройства могут работать более 5,000 часов с отклонением параметров менее 5%.
Что необходимо учитывать при планировании Для зонированного нагрева требуется чистый механический интерфейс и стабильное электроснабжение. Необходимо соответствующее расположение устройства на плате для нагрева, учитывать объем используемого газа и энергии, а также провести калибровку перед началом работы.
Начальная настройка занимает некоторое время. Но это необходимо для того, чтобы можно было выполнять процесс нагрева с максимальной надежностью, снова и снова.