ในขั้นตอนการทำให้แผ่นวีเซอร์แห้งก่อนนำไปใช้ในกระบวนการลิโธกราฟีนั้น ถือเป็นขั้นตอนสำคัญที่จะกำหนดคุณภาพของผลิตภัณฑ์ โดยปัญหาต่างๆ เช่น สารตกค้างจากโฟโตรีสิสต์ รอยน้ำ หรือปัญหาเกี่ยวกับขอบแผ่นวีเซอร์ มักเกิดจากความผันผวนของอุณหภูมิ การควบคุมอุณหภูมิที่ไม่ดีพอ หรือเศษฝุ่นที่เกิดขึ้นจากเครื่องมือเอง เราจึงสร้างเครื่องทำความร้อนสำหรับการทำให้แผ่นวีเซอร์แห้งขึ้นมา เพื่อขจัดปัจจัยเหล่านี้ออกไป
สิ่งที่สำคัญจริงๆ เครื่องนี้ใช้เทคโนโลยีอินฟราเรดความยาวคลื่นสั้น พร้อมการออกแบบระบบควบคุมอุณหภูมิที่มีประสิทธิภาพ ทำให้สามารถควบคุมอุณหภูมิได้อย่างสม่ำเสมอในพื้นที่ที่ใช้งาน โดยมีความคลาดเคลื่อนเพียง ±0.1°C เท่านั้น ส่วนความสามารถในการควบคุมอุณหภูมิซ้ำๆ อยู่ที่ ±0.2°C ซึ่งช่วยให้กระบวนการอบแผ่นวีเซอร์มีความสม่ำเสมอ ซึ่งเป็นสิ่งจำเป็นสำหรับกระบวนการที่ต้องการความแม่นยำสูง
นอกจากนี้ เครื่องนี้ยังสามารถใช้งานได้ในห้องปลอดฝุ่นระดับ Class 1–100 ด้วยเพราะมีวัสดุที่ไม่ปล่อยก๊าซออกมา มีการปิดผนึกส่วนต่างๆ ของเครื่องอย่างดี และมีระบบที่ช่วยลดการปล่อยฝุ่นในระหว่างการใช้งาน ในโรงงานของเรา เครื่องนี้สามารถทำงานได้ตลอด 24 ชั่วโมง โดยไม่มีเวลาหยุดทำงานเลย และการใช้พลังงานก็ถูกปรับให้เหมาะสมกับความต้องการของแผ่นวีเซอร์
เหตุผลที่เหมาะสมสำหรับการใช้งานจริง ในกระบวนการผลิตแบบ Lab-on-a-Chip นั้น ช่วงเวลาในการทำให้แผ่นวีเซอร์แห้งมีความสำคัญมาก คุณจำเป็นต้องมีกระบวนการทำให้แผ่นวีเซอร์แห้งอย่างรวดเร็ว มีการควบคุมอุณหภูมิที่แม่นยำ และไม่มีการปนเปื้อนเกิดขึ้น เครื่องนี้จึงเป็นทางเลือกที่ดีกว่าเครื่องอบแบบเดิมๆ โดยสามารถใช้งานได้ตามมาตรฐานของอุปกรณ์จัดการชิประดับสากล
ผลลัพธ์ที่ได้คือ การควบคุมขนาดของชิปที่แม่นยำขึ้น มีการต้องทำงานซ้ำน้อยลง และมีเวลาในการผลิตที่แน่นอน การควบคุมอุณหภูมิได้ดีขึ้น ก็จะช่วยลดข้อบกพร่องจากการอบแผ่นวีเซอร์ที่ไม่เพียงพอหรือมากเกินไปได้
รายละเอียดที่ควรพิจารณา ในการติดตั้งเครื่องนี้ จำเป็นต้องมีแหล่งจ่ายไฟ 24 VDC ที่มีการเชื่อมต่อกราวด์ที่ดี หากมีเครื่องมือที่ไวต่อสัญญาณรบกวนอยู่ใกล้เคียง ก็ควรวางแผนการแยกสัญญาณไว้ล่วงหน้า เครื่องนี้สามารถเข้าสู่โหมดที่กำหนดได้อย่างรวดเร็ว แต่ความจุความร้อนจะแตกต่างกันไปตามชนิดของแผ่นวีเซอร์ ดังนั้นจึงจำเป็นต้องตรวจสอบอัตราการเพิ่มอุณหภูมิให้เหมาะสมกับชนิดของชิปที่ใช้
เรามีอินเตอร์เฟซมาตรฐานสำหรับการเชื่อมต่อ แต่หากใช้วัสดุที่ไม่ใช่มาตรฐาน ก็จำเป็นต้องมีการปรับแต่งอุปกรณ์เพิ่มเติม หากทำการตั้งค่าให้ถูกต้องตั้งแต่ครั้งแรก ก็จะได้ผลลัพธ์ที่สม่ำเสมอ และลดปัญหาเรื่องคุณภาพของผลิตภัณฑ์ในอนาคตได้