การรักษาความสะอาดของวีเซอร์: ความจริงเกี่ยวกับการใช้ความร้อน
ในห้องปลอดฝุ่นระดับ Class 100 แม้จะมีฝุ่นเพียงเล็กน้อย ก็ถือเป็นปัญหาใหญ่ เพราะอาจส่งผลให้ผลผลิตของวีเซอร์ลดลงได้ อุปกรณ์ที่ใช้สร้างความร้อนส่วนใหญ่ก็เป็นสาเหตุของปัญหานี้ เพราะทุกครั้งที่อุปกรณ์เหล่านี้ร้อนขึ้นหรือเย็นลง ก็จะมีก๊าซหรืออนุภาคต่างๆ หลุดออกมา
นั่นคือเหตุผลที่เราใช้วิธีการที่แตกต่างออกไป เราใช้หลอดไฟอินฟราเรดที่ทำจากควอตซ์บริสุทธิ์สูง ซึ่งถูกออกแบบมาโดยเฉพาะสำหรับอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์
การต่อสู้กับปัญหา “หมอก”
อีกหนึ่งปัญหาคือกระจกธรรมดามักมีโลหะปนอยู่ พออุณหภูมิสูงขึ้น สารปนเปื้อนเหล่านี้ก็จะระเหยออกมา และไปติดอยู่บนพื้นผิวของวีเซอร์ คุณคงเคยเห็นปัญหา “หมอก” นี้ในช่วงการใช้งานครั้งแรกๆ มาแล้ว
เราแก้ปัญหานี้ด้วยการใช้ท่อควอตซ์บริสุทธิ์สูง และใช้กระบวนการทำความสะอาดที่เข้มงวดมาก ไม่มีสิ่งใดที่จะหลงเหลืออยู่บนพื้นผิวของวีเซอร์ได้เลย
ความร้อนที่มีประสิทธิภาพ
หลอดไฟเหล่านี้ใช้คลื่นอินฟราเรดระยะสั้น ซึ่งทำให้อุณหภูมิสูงขึ้นอย่างรวดเร็ว เราควบคุมค่าอุณหภูมิให้อยู่ในระดับที่สม่ำเสมอ แต่มีข้อแนะนำอย่างหนึ่งคือ หากคุณใช้หลอดไฟที่มีกำลังสูง ควรตรวจสอบระบบระบายความร้อนให้ดี หากคุณไม่สามารถควบคุมความร้อนได้ ค่าการปรับตั้งของเซ็นเซอร์ก็จะเปลี่ยนไป และคุณก็จะต้องมาแก้ปัญหานี้อีก
การดูแลอุปกรณ์
เราออกแบบอุปกรณ์เหล่านี้ให้สามารถเปลี่ยนได้ง่าย เพราะไม่มีใครอยากให้เกิดการหยุดทำงาน อุปกรณ์เหล่านี้มีการปิดผนึกที่แน่นหนา ดังนั้นคุณไม่ต้องกังวลเรื่องก๊าซฮาโลเจนรั่วออกมา มีเพียงข้อแนะนำเดียวคือ ต้องให้แน่ใจว่าตัวเชื่อมต่อสามารถรับมือกับความร้อนได้ คุณคงไม่อยากพบว่าตัวเชื่อมต่อนั้นหลอมละลายไปหรอก
อุปกรณ์เหล่านี้ไม่ใช่อุปกรณ์ที่สามารถใช้งานได้โดยไม่ต้องดูแลเลย คุณต้องคอยดูแลหลอดควอตซ์อย่างสม่ำเสมอ เมื่อเวลาผ่านไป จะมีสารปนเปื้อนสะสมอยู่บนหลอด ซึ่งจะทำให้อุณหภูมิเปลี่ยนไป คุณจะเห็นว่ากำลังไฟที่ใช้เพิ่มขึ้น เพื่อรักษาอุณหภูมิเดิมไว้
เมื่อเกิดสถานการณ์นี้ ก็ถึงเวลาที่ต้องเปลี่ยนหลอดไฟใหม่แล้ว