Üretim alanında, waferlerin test edilmesi ve reaktif maddelerin pişirilmesi sırasındaki sıcaklık değişiklikleri, sadece belirlenen özellikleri bozmakla kalmaz; aynı zamanda üretim verimliliğini de düşürür. Bu yüzden, hat tam kapasiteyle çalışırken bile sıcaklığı belirlenen aralıkta tutmak için elipsometri tabanlı wafer ısıtıcıları geliştirdik.
Teknik açıdan önemli olanlar:
Bu cihaz, hızlı tepki veren kuvars-halojen emitörleri kullanarak kısa dalga boylu kızılötesi ışık yayınlar. Böylece sıcaklık kontrolü daha hassas olur ve süreç stabil kalır. Wafer üzerindeki sıcaklık uniformitesi ±0,1°C civarında tutulur; bu da yumuşak pişirme, sert pişirme ve pişirme sonrası işlemlerin fotoresistin termal limitleri dahilinde gerçekleşmesini sağlar. Isıtıcı gövdesi, Class 1–100 standartlarına uygun şekilde tasarlanmıştır ve parça üretimi sırasında herhangi bir kirliliğe yol açmaz. Sıcak bölge izole edilmiş olup, yüzeyler de kirlenmeyi en aza indirmek için özel şekilde işlenmiştir. Entegre sıcaklık geri bildirimi sayesinde süreç parametreleri gün içinde ve farklı partiler arasında tutarlı kalır.
Neden gerçek kullanımda etkili?
Bu ısıtıcı, elipsometri ve ölçüm cihazlarının kullanıldığı sistemlerde sıcaklık kontrolünü sağlar. Ölçüm ve kurutma işlemleri sırasında substratın belirlenen sıcaklıkta kalması gerekmektedir. Yüksek sıcaklık uniformitesi, katman kalınlığının daha tutarlı olmasını sağlar ve çözücü ile temizleme işlemlerinin daha tahmin edilebilir olmasını sağlar. Bunun sonucunda daha az yeniden işleme gerekliliği, daha istikrarlı işlem süreleri ve sıcaklık değişikliklerinden kaynaklanan atıkların azalması sağlanır. Ayrıca, kısa işlem süreleri ve sıkı kontrol sayesinde daha az enerji tüketilir.
Birkaç pratik bilgi:
Kurulum sırasında, prob istasyonunun mekanik yapısına uyum sağlanmalı ve ayar noktaları reaktif maddelerin özelliklerine göre belirlenmelidir. Isıtıcı işini yapacaktır, ancak genel işlem süreci yine de doğru ayarların yapılmasına bağlıdır. Ayrıca emitörün de belirli bir kullanım ömrü vardır; bu yüzden beklenmedik arızalar yerine planlı bakım yapılmalıdır.