Wafer’lerinizi Temiz Tutmak: Isıtma Konusundaki Gerçekler
Class 100 temiz odalarında, tek bir toz parçası bile sadece rahatsız edici bir durum olmakla kalmaz; aynı zamanda wafer’lerinizin kalitesini ciddi şekilde etkiler. Burada kullanılan çoğu ısıtıcı eleman, her ısıtılıp soğutulduğunda gaz salgılar veya parçacıklar bırakır.
İşte bu yüzden farklı bir yöntem kullanıyoruz. Yarı iletken endüstrisi için özel olarak üretilmiş, yüksek saflıkta sentetik kuvars IR lambaları kullanıyoruz.
“Sislenme” sorununa karşı mücadele
Camın özelliği şudur: Standart camlar iz elementlerle doludur. Isındığında bu kirleticiler uçucu hale gelir ve yüzeye yapışır. Muhtemelen ilk birkaç kullanım sırasında bu rahatsız edici “sis” durumunu görmüşsünüzdür.
Bunu önlemek için yüksek saflıkta kuvars tüpleri ve son derece titiz bir temizlik işlemi kullanıyoruz. Atölyemizden hiçbir şey yüzeyde kalıntı bırakmadan çıkmaz. Kesinlikle.
Gerçekten etkili olan ısı
Bu lambalar kısa dalga boylu IR ışını kullanır; bu sayede hızla ısınır. Isının tüm tüp boyunca eşit dağılmasını sağlamak için toleransları sıkı tutuyoruz. Ancak bir tavsiye: Eğer yüksek güçlü bir sistem kullanıyorsanız, şasi soğutmasını mutlaka kontrol edin. Eğer radyant ısıyı kontrol edemezseniz, sensörün kalibrasyonları bozulur ve işler daha da karmaşık hale gelir.
Donanımlarla başa çıkma
Bu lambaların değiştirilmesini kolaylaştırdık; çünkü kimse kesintiler yaşamak istemez. Sızdırmazlıklar çok iyi olduğundan, halojen gazlarının ortama sızması gibi bir sorunla karşılaşmazsınız. Tek bir tavsiye daha: Bağlayıcıların termal yükü kaldırabileceğinden emin olun. Terminallerinizin eridiğini zor yoldan öğrenmek istemezsiniz.
Unutmayın ki bunlar “bir kere ayarlayıp unutun” tipi araçlar değildir. Kuvars lambalarını düzenli olarak kontrol etmeniz gerekir. Zamanla, işlem sonucu oluşan atıklar tüp üzerinde birikir. Bu durumda emisivite değişir ve aynı yüzey sıcaklığını korumak için daha fazla enerji gerekliliği ortaya çıkar. Bu durumu fark ettiğinizde, yeni bir lamba takmanın zamanı gelmiştir.