Як підтримувати чистоту ваших ваферів: правда про нагрівання
У чистій кімнаті класу 100 навіть одна дрібна крапелька пилу є серйозною проблемою – це може призвести до значних втрат у якості ваферів. Більшість елементів нагріву є загрозою в таких умовах: вони виділяють гази чи частинки щоразу, коли нагріваються та охолоджуються.
Саме тому ми використовуємо лампи з синтетичного кварцу високої чистоти, спеціально розроблені для використання в напівпровідниковій промисловості.
Боротьба з „туманом“
Стандартне скло містить значну кількість домішок металів. Коли температура підвищується, ці домішки випаровуються та осідають на поверхні матеріалу. Ймовірно, ви вже бачили цей „туман“ під час перших кількох циклів роботи.
Щоб уникнути цього, ми використовуємо трубки з кварцу високої чистоти та процеси очищення, які є максимально ефективними. Ніщо не залишається на поверхні трубки після процедури очищення.
Нагрівання, яке справді ефективне
Ці лампи використовують короткохвильове інфрачервоне випромінювання, тож вони швидко досягають потрібної температури. Ми стежимо за точністю параметрів нагрівання, щоб температура була однаковою по всій довжині трубки. Але є одна порада: якщо ви використовуєте лампи великої потужності, обов’язково перевірте систему охолодження корпусу. Якщо ви не контролюєте випромінювання, калібрація датчиків буде порушуватися, а це призведе до проблем.
Керування обладнанням
Ми зробили це обладнання простим у заміні – адже ніхто не хоче перерв у роботі. Запірні елементи є щільними, тож не потрібно хвилюватися про витік галогенових газів. Одна порада: переконайтеся, що ваші з’єднувачі можуть витримувати теплове навантаження. Ви ж не хочете, щоб ваші клеми розплавилися.
Це не ті інструменти, які можна просто залишити без уваги. Потрібно постійно стежити за станом кварцу. З часом на поверхні трубки накопичуються продукти процесу. У такому разі емісія змінюється. Ви помітите, що споживання енергії зростає, щоб підтримати ту саму температуру поверхні.
Коли це станеться, настав час замінити лампу.