На етапі промивання сліди води та зміни профілю опору не є теоретичними проблемами – вони можуть зруйнувати всю продукцію. Ми створили водонепроникні інфрачервоні лампи, які допомагають усунути ці негативні фактори під час сушіння пластин та наступних термічних процедур.
Що є важливим у цій системі
Ми використовуємо інфрачервоні випромінювачі короткої довжини хвилі в герметичних корпусах. Це безконтактне нагрівання, яке дозволяє досягти однорідності температури на поверхні пластини при значенні ±0,1°C протягом усього процесу. Це дає можливість точно контролювати параметри процесу та забезпечує стабільність результатів. Температурні зміни є стриманими та контрольованими, що дозволяє зберегти термічний баланс під час видалення розчинників. Головка лампи може ефективно функціонувати у чистих приміщеннях класу 1–100, а також не створює жодних частинок – немає випаровування речовин, не відбувається утворення лусок чи забруднень на поверхні пластини.
Чому ця система ефективна у виробництві
Під час переходу від промивання до сушіння інфрачервоне випромінювання безпосередньо нагріває поверхню пластини, що сприяє швидкому випаровуванню води та запобігає утворенню крапель. Це зменшує кількість слідів води, підвищує якість продукції та збільшує кількість продукції, яка може бути отримана за один прохід через обладнання.
У процесі літографії цей контрольований термічний ефект дозволяє зберігати стабільну температуру під час процесу сушіння та забезпечує стабільність параметрів процесу. Це сприяє кращому контролю критичних розмірів та більш стабільним профілям стінок пластини.
Система є стабільною під час роботи; пристрої можуть пропрацювати понад 5 000 годин зі зниженням продуктивності менше ніж на 5%. Це дозволяє уникнути несподіванок та частішої заміни ламп. Крім того, оскільки енергія надходить безпосередньо на пластину, а не на приміщення, використовується менше енергії, ніж у конвективних печах.
Деталі, які забезпечують ефективність системи
Встановлення лампи полягає у її підлаштуванні під геометрію треку та розміри модуля промивання, враховуючи необхідний простір для дюз та інших елементів обладнання.
Водонепроникний корпус та захисне скло є міцними, але розчинники та агресивні чистячі засоби все одно можуть скоротити термін служби лампи. Необхідно планувати час заміни ламп та перевіряти сумісність хімікатів із обладнанням.
Необхідно також підлаштувати спектр випромінювання та щільність потужності лампи під тип фотолітографічного матеріалу. Якщо надавати занадто багато тепла занадто швидко, це може пошкодити фотолітографічний матеріал та спричинити залишання розчинників на поверхні пластини.