ویفر کی سطح پر، لیتھوگرافی سے قبل خشک کرنے کا عمل، مصنوعات کی کوالٹی کو متاثر کرتا ہے، اور یہ اثر بہت واضح ہوتا ہے۔ فوٹو ریزسٹ کے باقیات، پانی کے نشانات، کناروں پر موجود نقائص – ان سب کی وجہ عموماً پلیٹ کے درجہ حرارت میں تغیر، کنٹرول سسٹم کی کمزوری، یا آلے سے نکلنے والے ذرات ہوتے ہیں۔ ہم نے “لیب-آن-اے-چپ ڈرائنگ ہیٹر” تیار کیا ہے، تاکہ ان مسائل کو دور کیا جاسکے۔
کیا چیزیں اہم ہیں؟
یہ آلہ شارٹ-ویو انفراریڈ عناصر پر مبنی ہے، اور کوارٹز سے بہتر کارکردگی حاصل کی جاتی ہے؛ اس طرح ویفر کی سطح پر درجہ حرارت کی یکسانیت ±0.1°C تک ہوتی ہے۔ مختلف بیچوں میں درجہ حرارت کی استقامت ±0.2°C تک ہے، جس سے “سافٹ بیک” اور “ہارڈ بیک” عملوں میں یکسانیت برقرار رہتی ہے – یہی وہ چیز ہے جو فوٹو ریزسٹ کے کاموں کے لئے ضروری ہے۔
یہ آلہ کلین روم کلاس 1–100 کے معیارات کے مطابق ہے؛ کم گیس خارج ہونے والے مواد، بند جوڑ، اور ذرات کی سطح کو کنٹرول کرنے والا نظام کی وجہ سے، آپریشن کے دوران ذرات کی تعداد مستحکم رہتی ہے۔ ہمارے پائلٹ لائنوں میں، یہ ہیٹر 24/7 کام کرتا ہے، اور اس کی توانائی کی ضرورت لیب-آن-اے-چپ سبسٹریٹس کے درجہ حرارت کے مطابق ہے۔
یہ آلہ فیکٹری کے حالات کے لئے کیوں مناسب ہے؟
لیب-آن-اے-چپ فیکٹری میں، خشک کرنے کا عمل بہت اہم ہے؛ تیز رفتار خشک کرنے کی صلاحیت، درجہ حرارت کا بہتر کنٹرول، اور ایسا عمل جس سے کوئی آلودگی نہ پیدا ہو۔ یہ آلہ پرانے ہاٹ پلیٹس اور انفراریڈ سسٹموں کی جگہ لے سکتا ہے، اور یہ بین الاقوامی سیمی کنڈکٹر آلات کے معیارات کے مطابق ہے۔
اس کے نتیجے میں، درجہ حرارت کا بہتر کنٹرول، کم وقت میں کام مکمل ہونا، اور کم خرابیاں ہونا۔ جب درجہ حرارت میں تغیر نہیں ہوتا، تو عمل میں کوئی رکاوٹ نہیں آتی، اور ناقص بیکنگ کی وجہ سے پیدا ہونے والی خرابیاں بھی کم ہو جاتی ہیں۔
عملی تفصیلات:
انسٹالیشن کے لئے 24 VDC کی بجلی کی ضرورت ہے، اور صاف گراؤنڈنگ بھی ضروری ہے۔ اگر آپ کے پاس EMI حساس آلات ہیں، تو پہلے ہی انسولیشن کی تیاری کر لیں۔ یہ ہیٹر جلد ہی مطلوبہ درجہ حرارت تک پہنچ جاتا ہے، لیکن درجہ حرارت سبسٹریٹ کے لحاظ سے مختلف ہوتا ہے؛ لہذا اپنے چپ سٹیک کے لحاظ سے ریمپ ریٹ کی تصدیق کریں۔
ہم معیاری انٹرفیس فراہم کرتے ہیں، لیکن غیر معیاری کیریئرز کے لئے خصوصی فکسچرز کی ضرورت ہوتی ہے۔ اگر آپ ایک بار ہی درست ترتیبات کر لیں، تو آپ کو مسلسل بہتر کارکردگی ملے گی، اور کم خرابیاں ہوں گی۔