Hãy ngừng lãng phí năng lượng đi: Sự thật về các bóng đèn hồng ngoại được phủ bằng vàng
Nếu bạn đang xử lý các tấm wafer bán dẫn mà lại bị lãng phí năng lượng, thì rõ ràng bạn đang gặp vấn đề trong thiết kế thiết bị của mình. Đơn giản thôi.
Khi sử dụng các bóng đèn hồng ngoại không chứa ozone, mục tiêu không chỉ là tạo ra nhiệt độ cao, mà còn là để năng lượng được truyền đến bề mặt wafer một cách chính xác, mà không làm ảnh hưởng đến môi trường xung quanh.
Tại sao lại chọn vàng?
Hầu hết mọi người thường sử dụng vật liệu phản xạ bằng nhôm, nhưng vấn đề là nhôm hấp thụ quá nhiều năng lượng. Giống như việc cố gắng đẩy quả bóng trở lại sau khi nó va vào miếng bông vậy. Chúng ta chọn vàng vì nó có khả năng phản xạ ánh sáng hồng ngoại rất tốt. Nhờ đó, lớp vàng sẽ đẩy các photon trở lại về đúng vị trí cần thiết. Kết quả là năng lượng được tập trung một cách hiệu quả hơn, và mỗi mét vuông của wafer sẽ nhận được nhiều năng lượng hơn. Điều này giúp tăng hiệu suất công việc.
Xử lý vấn đề nhiệt độ
Vì các bóng đèn này không chứa ozone, nên chúng loại bỏ được bước sóng 185nm. Điều này rất tốt, vì bạn không cần lo lắng về việc O3 tích tụ trong buồng xử lý. Môi trường xung quanh vẫn ổn định, giúp công việc diễn ra thuận lợi hơn.
Nhưng cũng có một rào cản: Khi tập trung quá nhiều năng lượng vào một không gian nhỏ như vậy, áp lực nhiệt sẽ rất lớn. Nếu bạn sử dụng các bóng đèn có công suất cao, bạn cần phải chú ý đến hệ thống làm mát. Nếu dòng khí không ổn định, bạn sẽ gặp vấn đề về nhiệt độ, và điều này sẽ khiến việc xử lý wafer trở nên khó khăn hơn.
Những điều bạn cần biết
Vàng rất tốt trong việc định hướng năng lượng, nhưng nó lại rất mềm. Nếu bạn xử lý các bộ phận phản xạ này như nhôm, chúng sẽ bị hư hại. Hãy sử dụng phương pháp vệ sinh không tiếp xúc. Chỉ cần một vết xước nhỏ thôi cũng đủ khiến điểm tập trung năng lượng bị mất, và điều này sẽ gây ra vấn đề nghiêm trọng.
Một mẹo cuối cùng: Hãy kết nối các bóng đèn này với bộ điều khiển PID chính xác. Vì vàng giúp tăng hiệu quả truyền nhiệt, nên wafer sẽ đạt đến nhiệt độ cần thiết nhanh hơn bình thường. Bạn cần điều chỉnh các thông số liên quan đến quá trình tăng nhiệt. Nếu không, bạn sẽ gặp nguy cơ bị sốc nhiệt, và điều này thì chẳng ai muốn cả.