Giữ cho các tấm wafer sạch sẽ: Sự thật về việc sử dụng nhiệt lượng
Trong phòng sạch loại 100, một hạt bụi nhỏ cũng có thể gây ra hậu quả nghiêm trọng – nó có thể phá hủy chất lượng của các tấm wafer. Hầu hết các linh kiện tạo nhiệt đều gây ra vấn đề này; chúng giải phóng khí hoặc các hạt bụi mỗi khi được sử dụng để tạo nhiệt.
Đó là lý do tại sao chúng tôi sử dụng những chiếc đèn hồng ngoại làm từ thạch anh nguyên chất, được thiết kế riêng cho ngành công nghiệp bán dẫn.
Chống lại hiện tượng “sương mù”
Thạch anh thông thường chứa nhiều kim loại tạp chất. Khi nhiệt độ tăng lên, những tạp chất này sẽ bay hơi và tích tụ trên bề mặt wafer. Bạn chắc hẳn đã từng gặp phải hiện tượng “sương mù” này trong vài chu kỳ đầu tiên.
Chúng tôi ngăn chặn điều này bằng cách sử dụng ống thạch anh nguyên chất và quy trình vệ sinh cực kỳ kỹ lưỡng. Không có gì có thể để lại dấu vết trên bề mặt wafer. Đơn giản thế thôi.
Nhiệt lượng được kiểm soát tốt
Những chiếc đèn này sử dụng ánh sáng hồng ngoại tần số cao, giúp chúng đạt nhiệt độ nhanh chóng. Chúng tôi kiểm soát chặt chẽ mức nhiệt để đảm bảo nhiệt độ đồng đều trên toàn bộ ống đèn. Nhưng một lời khuyên: nếu bạn sử dụng đèn công suất cao, hãy kiểm tra kỹ hệ thống làm mát của máy. Nếu không kiểm soát được nhiệt lượng phát ra, các cảm biến sẽ bị sai lệch, và bạn sẽ gặp nhiều khó khăn trong việc điều chỉnh nhiệt độ.
Lưu ý khi sử dụng thiết bị
Chúng tôi thiết kế các bộ phận này sao cho dễ thay thế, vì không ai muốn máy móc phải ngừng hoạt động. Các chi tiết kết nối được thiết kế chặt chẽ, vì vậy bạn không cần lo lắng về việc khí halogen rò rỉ vào môi trường xung quanh. Một lưu ý nữa: hãy đảm bảo rằng các đầu nối có thể chịu được áp lực nhiệt. Bạn không muốn gặp tình trạng các đầu nối bị tan chảy đâu.
Những chiếc đèn này không phải là loại thiết bị có thể sử dụng mà không cần quan tâm gì cả. Bạn cần phải theo dõi tình trạng của thạch anh thường xuyên. Theo thời gian, các chất thải từ quá trình sản xuất sẽ tích tụ trên ống đèn. Khi đó, khả năng phát sóng nhiệt của đèn sẽ thay đổi. Bạn sẽ nhận thấy công suất tiêu thụ của đèn tăng lên để duy trì cùng một mức nhiệt độ. Khi thấy điều này xảy ra, đã đến lúc bạn cần thay thế chiếc đèn mới.