Trong quy trình sản xuất, việc nhiệt độ trên bề mặt wafer thay đổi 0,3°C cũng đủ để gây ra những sai lệch về độ chính xác của thông số kỹ thuật, làm giảm chất lượng sản phẩm và khiến lớp phim quang học hoạt động ngoài phạm vi cho phép của nó. Không có bất kỳ tín hiệu cảnh báo nào cả; kết quả là sản phẩm bị hỏng và cần phải được xử lý ngay lập tức.
Điều quan trọng nhất là gì? Chúng tôi sử dụng hệ thống sưởi ấm theo từng khu vực riêng biệt, với khả năng kiểm soát nhiệt độ chính xác. Mỗi khu vực được điều khiển bởi các thiết bị phát sóng hồng ngoại có khả năng phản ứng nhanh, đồng thời được điều chỉnh nhiệt độ trong khoảng 150–300°C, với độ chính xác lên tới ±0,1°C.
Hệ thống sưởi ấm này được thiết kế để sử dụng trong môi trường phòng sạch loại 1–100: vật liệu sử dụng ít khí thải, không có chất kết dính nào lộ ra bên ngoài, và bề mặt được xử lý sao cho số lượng hạt bụi ở mức tối thiểu. Dòng điện được truyền qua các cáp được bảo vệ tốt, và phần mềm điều khiển ghi lại mọi bước trong quy trình sưởi ấm – giúp đảm bảo tính chính xác của quy trình.
Tại sao hệ thống này hiệu quả trong quy trình xử lý phim quang học? Trong quá trình sưởi ấm, hệ thống này giúp duy trì nhiệt độ ổn định trên toàn bộ bề mặt wafer, từ đó giảm thiểu những sai lệch do sự phản chiếu ánh sáng gây ra. Điều này giúp tạo ra các lớp quan trọng có chất lượng cao hơn, giảm số lần phải tái xử lý sản phẩm, và giúp kiểm soát chặt chẽ quy trình sản xuất – mà không cần thay đổi công thức xử lý.
Việc sử dụng năng lượng cũng được giảm bớt, vì chỉ những khu vực cần được sưởi ấm mới được làm nóng. Thời gian hoạt động của thiết bị cũng được cải thiện: thiết kế này cho phép thiết bị hoạt động với tần suất cao mà không bị mệt mỏi do nhiệt độ, và chúng tôi đã có những thiết bị hoạt động hơn 5.000 giờ mà độ chính xác vẫn ở mức dưới 5%.
Những gì bạn cần chuẩn bị: Hệ thống sưởi ấm theo từng khu vực yêu cầu một môi trường vận hành sạch sẽ và các thiết bị hỗ trợ ổn định. Bạn cần xác định kích thước và vị trí lắp đặt phù hợp với khay sưởi ấm, kiểm tra nguồn khí và năng lượng cần thiết, và tiến hành kiểm calibrate hệ thống trước khi bắt đầu quy trình sản xuất.
Có một chút thời gian chuẩn bị ban đầu, nhưng đó là cái giá phải trả để có thể sử dụng một hệ thống mà bạn có thể tin tưởng, hoạt động ổn định từ ca làm việc này sang ca làm việc khác.