别再让热量白白浪费在晶圆固化上了
在晶圆固化过程中，温度控制非常重要。但问题在于：大多数系统都会让热量四处散失，结果就是机器的框架被加热，而晶圆却没有得到应有的加热效果。这不仅是能源的浪费，更是金钱的浪费。
热量到底去了哪里？
想象一下没有反射器的固化灯——超过一半的能量会从后面散失掉。实际上，它就像工厂地面上的加热器而已。
我们通过使用镀金或高纯度铝制成的反射器来解决这个问题。这些反射器能将能量重新导向正确的方向——也就是晶圆上。这样一来，虽然仍能实现固化效果，但所需的功率却可以降低。这样不仅能减少电费，还能降低碳排放。双赢的局面啊！
“冷点”的危害
所使用的材料也很重要。如果使用的是短波红外光，那么就必须选择那种在高温环境下也不会变形的材料。
如果反射器发生变形或氧化，就会在晶圆上形成“冷点”。大多数人会选择增加功率来弥补这个问题，但这是错误的做法。过度增加功率只会降低效率，还会加速灯管的损坏。
折衡之道
实现“绿色化”并非易事，需要做出一些妥协。因为这些反射器会集中大量热量，所以灯管周围的温度会非常高。因此，必须重视冷却系统。如果气流不足，灯管就有可能爆炸。所以，确保冷却系统能够正常工作至关重要。
最简单的解决方案
我们设计的这些反射器可以直接替换现有的部件，无需拆卸整个生产线或降低生产速度。只需更换反射器的结构，就能减少每轮处理所需的千瓦数。对于那些希望在不带来太大麻烦的情况下实现清洁室低碳化的人来说，这无疑是最佳方案。