保持晶圆清洁：关于加热的真相
在100级洁净室中，哪怕只有一粒灰尘存在，都会对晶圆的产出率造成致命影响。大多数加热元件在这方面都是个隐患——因为它们在加热和冷却过程中会释放出气体或颗粒物。
因此，我们采用了不同的方法。我们使用专为半导体行业设计的、纯度极高的合成石英红外灯。
防止“结雾”现象
普通玻璃中含有大量微量金属。当温度升高时，这些杂质会挥发出来，进而附着在晶圆表面。你可能已经注意到，在最初的几次使用过程中会出现“结雾”现象。
为避免这种情况，我们使用了纯度极高的石英管，并采用极为严格的清洁工艺。确保没有任何残留物留在产品表面。
高效的加热效果
这类灯使用的是短波红外光，因此能够迅速达到所需温度。我们严格控制温度波动，确保整个管体的温度保持稳定。不过有一点需要注意：如果使用高功率的装置，务必确保其散热系统正常工作。否则，传感器的校准值就会出现偏差，从而带来诸多问题。
易于更换的硬件设计
我们设计了便于更换的硬件结构，因为没人希望设备因故障而停止运行。密封性能良好，因此不必担心卤素气体泄漏的问题。不过有一点要注意：确保连接器能够承受相应的热负荷。否则，终端可能会因过热而损坏。
不过，这些装置并非可以“设置后不必再管”的产品。你需要定期检查石英管的情况。随着时间的推移，加工过程中产生的杂质会积聚在石英管上，从而导致其发射率发生变化。此时，为了保持相同的表面温度，你需要增加功率输出。一旦发现这种情况，就该更换新的灯管了。