Na úrovni waferů může krok sušení před litografií výrazně ovlivnit kvalitu výsledného produktu – a to nejen v nepatrné míře. Zbytky fotorezistu, vodní skvrny, problémy s okraji waferů – ve většině případů lze tyto problémy přičíst kolísáním teploty desky, špatné kontrole teploty během procesu nebo odpadu částic z samotného zařízení. Vytvořili jsme ohřívač určený k sušení na platformě Lab-on-a-Chip, aby tyto problémy byly eliminovány.
Co je důležité uvnitř zařízení
Zařízení využívá krátkovlnné infračervené elementy s termálním designem založeným na kvarcu. Díky tomu dosahuje rovnoměrnosti teploty na úrovni waferů v rozmezí ±0,1 °C po celé aktivní ploše. Opakovatelnost teploty je v rozmezí ±0,2 °C mezi jednotlivými dávkami, což zajišťuje konzistentnost procesů spojených s sušením – právě to potřebujeme pro práci s fotorezistem.
Zařízení je kompatibilní s prostředím tříd 1–100, a to díky materiálům s nízkým uvolňováním páry, uzavřeným spojům a architektuře, která zabraňuje uvolňování částic během provozu. V našich pilotních linkách funguje ohřívač 24/7 bez jakýchkoliv plánovaných přerušení. Spotřeba energie je nastavena tak, aby odpovídala tepelným požadavkům podkladů používaných v systému Lab-on-a-Chip.
Proč se hodí do praxe výroby
Při výrobě na platformě Lab-on-a-Chip je čas na sušení velmi omezený: je potřeba rychlé odvodnění, přesná kontrola teploty a proces, který nezpůsobuje kontaminaci. Toto zařízení nahrazuje staré horké desky a starší infračervené systémy řešením, které splňuje mezinárodní standardy pro polovodičová zařízení.
Výsledkem je lepší kontrola kritických rozměrů, méně oprav a spolehlivější cykly výroby. Když zmizí kolísání teploty, otevírají se možnosti pro další procesy a defekty způsobené nedostatečným nebo nadměrným sušením také klesají.
Praktické detaily, na které je potřeba se zaměřit
Pro instalaci je potřeba speciální zdroj napětí 24 VDC s kvalitním uzemněním. Pokud máte v blízkosti nástroje citlivé na elektromagnetické rušení, je potřeba předem zajistit izolaci. Ohřívač dosahuje stanovené teploty rychle, ale tepelná hmotnost se liší v závislosti na podkladu. Proto je potřeba ověřit rychlost zvyšování teploty podle konkrétních podmínek vašeho čipu.
Poskytujeme standardní rozhraní pro integraci, i když nestandardní nosiče obvykle vyžadují_customizovaná řešení. Pokud provedete správnou inicializaci jednou, budete mít spolehlivý výkon bez neočekávaných problémů v budoucnu.