V procesu oplachování a sušení nejsou otisky vody a odchylky v profilu odolnosti fotorezisty jen teoretickými problémy – ty totiž ničí celou výrobu. Vytvořili jsme vodotěsné infračervené lampy, které odstraní tuto nejistotu při sušení čipů a v následujících tepelných krocích.
Co je důležité uvnitř systému
Používáme emitery krátkovlnného infračerveného záření umístěné v hermeticky uzavřených obalech. Jedná se o bezkontaktní ohřev, který působí rychle. Díky tomu dosahujeme rovnoměrnosti teploty na úrovni čipů v rozmezí ±0,1 °C během celého procesu. Profily měkkého a tvrdého zahřívání fotorezistu tak zůstávají reprodukovatelné. Nárůsty teploty jsou krátké a kontrolované, což umožňuje zachovat termální rovnováhu, zatímco rozpouštědla efektivně odcházejí. Lampy mohou být použity v čisticích místnostech třídy 1–100 a jsou navrženy tak, aby nevytvářely žádné částice – žádné uvolňování plynů, žádné loupení povrchu, žádné kontaminace po celé dráze čipu.
Proč se tento systém osvědčuje v průmyslu
Během přechodu z fáze oplachování do fáze sušení infračervené záření přímo zahřívá povrch čipu, čímž se snižuje povrchové napětí a urychluje se odpařování kapének. To znamená méně otisků vody, nižší hustotu vad a vyšší úspěšnost prvního průchodu čipu procesem. V litografii tento kontrolovaný tepelný efekt zajišťuje konzistentní teplotu měkkého zahřívání a reprodukovatelnost teploty tvrdého zahřívání. Díky tomu máte lepší kontrolu nad kritickými rozměry a stabilnější profily bočních stěn čipu. Systém zůstává stabilní během celého procesu – jednotky fungují již více než 5 000 hodin s poklesem výkonu menším než 5 %. To znamená méně nečekaných problémů a méně potřeby výměny lamp. A protože energie jde přímo na čip, a ne do komory, spotřebujete méně energie než při použití konvekčních troub.
Detaily, které zajišťují fungování systému
Instalace spočívá v přizpůsobení lampy geometrii trasy a rozměrům modulu určeného k oplachování, včetně prostoru pro trysky a nádržky na otáčení čipu. Vodotěsné uzavření a ochranná vrstva jsou odolné, ale rozpouštědla a agresivní čisticí látky přesto mohou snížit životnost lampy. Je tedy nutné plánovat intervaly výměny a ověřit chemickou kompatibilitu s používanými chemikáliemi. Spektrum emisí a intenzita svitu musí odpovídat typu fotorezistu. Příliš velké množství tepla v krátkém čase může poškodit fotorezist a způsobit ukládání rozpouštědel.