http://ir-heat-china.com/cs/tags/otopen%C3%AD/ Recent content in Otopení on China Infrared Heating Manufacturer Hugo cs Tue, 30 Jun 2026 05:21:51 +0800 http://ir-heat-china.com/cs/posts/zoned-heating-for-advanced-wafer-fab/ Tue, 30 Jun 2026 05:21:51 +0800 http://ir-heat-china.com/cs/posts/zoned-heating-for-advanced-wafer-fab/ <p><img src="http://ir-heat-china.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="Zoneové vytápění pro pokročilou továrnu na polovodičové desky"></p> <p>V prostorách výroby stačí odchylka teploty o 0,3 °C na povrchu waferu k tomu, aby došlo ke změnám v hodnotách CD, k posunu vrstev na povrchu waferu a k překročení teplotního rozsahu fotoresistu. Nejsou tu žádné varovné světla – pouze odpadní materiál a naléhavé volání z oddělení lithografie.</p> <p><strong>Co je opravdu důležité</strong><br> Vytvořili jsme systém děleného ohřevu s nezávislou regulací jednotlivých teplotních zón. Každá zóna funguje pomocí rychle reagujících emitorů v infračerveném spektru s kvartzově stabilizovaným profilem. Teploty lze udržovat v rozmezí 150–300 °C s přesností ±0,1 °C na úrovni celého waferu.</p>