http://ir-heat-china.com/cs/tags/sleeve/ Recent content in Sleeve on China Infrared Heating Manufacturer Hugo cs Mon, 01 Jun 2026 02:38:09 +0800 http://ir-heat-china.com/cs/posts/quartz-sleeve-for-fab-ir-lamp/ Mon, 01 Jun 2026 02:38:09 +0800 http://ir-heat-china.com/cs/posts/quartz-sleeve-for-fab-ir-lamp/ <p><img src="http://ir-heat-china.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="Křemenná objímka pro IR lampu v čisté místnosti"></p> <p>Na lithografické lince neexistují kompromisy mezi soft bake a hard bake. Fotorezist se chová přesně podle tepelného rozpočtu – bez výjimek. Pokud je IR lampa slabá nebo nepravidelná, neopakuje se proces. Výsledkem jsou odchylky šířky čáry, zbytky a šrot.</p> <p>Procházíte 300 mm plátky v přísném cyklu – nanesení vrstvy, vypálení, expozice, vývoj. Tepelný profil musí být opakovatelný plátek od plátku, šarže od šarže. Když se pouzdro lampy přehřívá, posunuje se nastavená hodnota. Když pouzdro přenáší teplo nerovnoměrně, okraj plátku má jinou teplotu než střed. Nástroj to může kompenzovat, ale procesní okno se zúžuje.</p>