In der Fertigungshalle ist die Backschritt nicht einfach nur eine Pause – es handelt sich dabei um eine klare Trennlinie im Produktionsablauf. Der Weichbrennvorgang sowie der Härtebrennvorgang legen den Ton für die Kontrolle der kritischen Abmessungen, für die Entfernung von Lösungsmitteln sowie für die Haftung des Fotolacks. Wenn die Heizplatte aus dem Gleichgewicht gerät oder die Einstellungen nicht mehr stimmen, geht die Qualität des Produkts nach und nach verloren. Genau dafür haben wir die Infrarotheizmodule entwickelt: Die Temperatur ist keine bloße Messgröße – sie stellt vielmehr eine Bedingung dar, die unbedingt eingehalten werden muss.
Was technisch wichtig ist:
Wir verwenden Kurzwellen-Infrarotstrahler mit schnell reagierenden Quarzelementen. Die Wärme wird genau dorthin geleitet, wo sie benötigt wird – ohne dass der umliegende Bereich beschädigt wird. Die Homogenität auf der Waferoberfläche bleibt während des gesamten Prozesses bei ±0,1°C. Dadurch bleibt die Linienbreite und das Profil von Charge zu Charge konstant. Die Steuerung des Heizvorgangs erfolgt über einen Schließkreis mit Rückkopplung, sodass die thermischen Bedingungen sowohl für 150-mm- als auch für 200-mm-Wafer konstant bleiben. Diese Module sind für Reinräume der Klassen 1–100 geeignet – sie nutzen Materialien mit geringer Gasemission sowie eine Konstruktion, die die Erzeugung von Partikeln minimiert.
Warum diese Module in der Praxis funktionieren:
In den Lithografieanlagen werden die Module einfach in die Backstationen eingebaut – ohne dass es zu Problemen mit der Robotik kommt. Dadurch entsteht ein konstantes Verhalten des Fotolacks, weniger Defekte und weniger Nachbearbeitung. Der Energieverbrauch sinkt, da nur der Film erhitzt wird, nicht die gesamte Kammer. Zudem verbessert sich die Betriebszeit: Das System kann 24/7 betrieben werden, wobei die Wartung vorhersehbar ist – dadurch gibt es keine unerwarteten Ausfälle, die den Produktionsablauf stören könnten.
Was Sie berücksichtigen müssen:
Bei der Installation müssen die mechanischen Anforderungen sowie die Anschlusskabel an Ihre spezielle Anlage angepasst werden. Erwarten Sie außerdem eine kurze Einarbeitszeit, um die Heizgeschwindigkeit einzustellen und Überschreitungen der Temperaturen zu vermeiden. Die Strahler haben zwar eine lange Lebensdauer – doch sie sind nicht ewig haltbar. Planen Sie daher regelmäßige Erneuerungen im Rahmen der Präventivwartung, damit die Temperaturgenauigkeit niemals beeinträchtigt wird.