PVD (Physical Vapor Deposition) Lampe

Wed, 03 Jun 2026 12:30:45 +0800

Auf der Fertigungsebene stoppt ein PVD-Durchlauf, wenn die Lampe ausfällt, und die Wafer-Warteschlange steht still. Das thermische Budget driftet, die Schichtdicke beginnt zu schwanken, und der Ertrag sinkt, noch bevor der Alarm gelöscht ist. Es wird eine Wärmequelle benötigt, die mit der Linie Schritt hält, nicht eine, die sie diktiert.

Technisch relevant Diese PVD-Lampen wurden mit wiederholbarer thermischer Regelung entwickelt. Über den Wafer hinweg wird eine Gleichmäßigkeit von ±0,1°C eingehalten, durch den Einsatz von kurzwelligen Infrarotelementen, die schnell reagieren und spektral stabil bleiben. Quarzkomponenten und hermetische Dichtungen halten die Partikelgenerierung nahe Null – reinraumkompatibel bis Klasse 1–100. Sie sind für den Dauerbetrieb rund um die Uhr ausgelegt, mit Lebensdauerüberwachung bis über 5.000 Stunden und einer Drift von unter 5 %. Die Schnittstellen passen in Standard-Werkzeug-Fußabdrücke, und die elektrischen Spezifikationen entsprechen den internationalen Normen für Halbleiterausrüstung.

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